MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，Ar 配置，满量程 4 至 200 sccm，RS - 485，N.C 特氟龙阀，4 VCR 公头。PN：GM50A004202R5M020
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MKS 部件编号：GM50A004202R5M020。
MKS GM50A 质量流量控制器配置为控制氩气或等效气体，全量程流量范围为 200 sccm，控制范围为 4 至 200 sccm。此 200sccm 氩气单位可通过软件“降低范围”至 141sccm，使可控范围从 4-200sccm 降至 ~2.8-141sccm 氩气。
它具有 RS - 485 串行通信端口、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量输入/输出信号以及 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出配件。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。
可以通过基于 Web 浏览器的应用程序配置多范围功能，该应用程序可通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机来访问。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
它具有 RS - 485 串行通信端口、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量输入/输出信号以及 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出配件。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。
可以通过基于 Web 浏览器的应用程序配置多范围功能，该应用程序可通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机来访问。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
Swagelok、VCR-TM Swagelok 公司
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