Contrôleur de débit massique (MFC) MKS GM50A à commande numérique, configuré Ar, plage de 4 à 200 sccm pleine échelle, RS-485, vanne N.C. en Téflon, 4 VCR mâles. PN : GM50A004202R5M020
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Numéro de pièce MKS : GM50A004202R5M020.
Le contrôleur de débit massique MKS GM50A est configuré pour contrôler Ar ou équivalent, avec une plage de débit à pleine échelle de 200 sccm et une plage de contrôle de 4 à 200 sccm. Cette unité Argon de 200 sccm peut être « réduite » à 141 sccm via le logiciel, ce qui porte la plage contrôlable de 4-200 sccm à environ 2,8-141 sccm Argon.
Il dispose d'un port de communication série RS-485, d'un signal d'entrée/sortie de débit de 0 à 5 VCC ou de 4 à 20 mA et de raccords d'entrée et de sortie Swagelok® 4 VCR® mâles. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes. L'étalonnage numérique donne une précision de 1 % du point de consigne sur le gaz d'étalonnage.
Les capacités multi-gammes peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en connectant le MFC à un routeur ou à un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à l'utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Il dispose d'un port de communication série RS-485, d'un signal d'entrée/sortie de débit de 0 à 5 VCC ou de 4 à 20 mA et de raccords d'entrée et de sortie Swagelok® 4 VCR® mâles. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes. L'étalonnage numérique donne une précision de 1 % du point de consigne sur le gaz d'étalonnage.
Les capacités multi-gammes peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en connectant le MFC à un routeur ou à un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à l'utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company
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