MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、Ar 構成、範囲 4 ~ 200 sccm フルスケール、RS - 485、N.C テフロンバルブ、4 VCR オス。PN: GM50A004202R5M020
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MKS 部品番号: GM50A004202R5M020。
MKS GM50A マスフローコントローラは、フルスケール フロー範囲 200 sccm、制御範囲 4 ~ 200 sccm の Ar または同等のガスを制御するように構成されています。この 200sccm アルゴン ユニットは、ソフトウェアを使用して 141sccm に「ダウンレンジ」することができ、制御可能な範囲が 4 ~ 200sccm から 2.8 ~ 141sccm アルゴンになります。
RS-485 シリアル通信ポート、0~5 VDC または 4~20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションにより、キャリブレーション ガスの設定点精度は 1% になります。
マルチレンジ機能は、MFC をルーターまたはコンピューターに Ethernet ケーブルで接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。
RS-485 シリアル通信ポート、0~5 VDC または 4~20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションにより、キャリブレーション ガスの設定点精度は 1% になります。
マルチレンジ機能は、MFC をルーターまたはコンピューターに Ethernet ケーブルで接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。
Swagelok、VCR-TM Swagelok Company
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