MKS GM50A 質量流量控制器 (MFC) 數位控制、Ar 配置、滿量程 4 至 200 sccm、RS - 485、NC Teflon 閥、4 VCR 外螺紋。零件編號：GM50A004202R5M020
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MKS GM50A 質量流量控制器 (MFC) 數位控制，範圍為 4 至 200 sccm，RS - 485 串列通訊協議，4 VCR 公頭。
MKS 零件號碼：GM50A004202R5M020。
MKS GM50A 質量流量控制器配置為控制 Ar 或同等氣體，滿量程流量範圍為 200 sccm，控制範圍為 4 至 200 sccm。此 200sccm 氬氣裝置可透過軟體「降低」至 141sccm，從而將可控範圍從 4-200sccm 提高到約 2.8-141sccm 氬氣。
它具有 RS - 485 串行通訊埠、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量輸入/輸出訊號以及 Swagelok® 4 VCR® 公輸入和輸出接頭。典型的反應時間約為 500 毫秒。數位校準可提供 1% 的校準氣體設定點精度。
多範圍功能可透過基於網路瀏覽器的應用程式進行配置，透過乙太網路電纜將 MFC 插入路由器或電腦即可存取該應用程式。電子診斷應用程式可讓使用者即時監控 MFC 的效能以及繪製資料和選擇變數。
MKS 零件號碼：GM50A004202R5M020。
它具有 RS - 485 串行通訊埠、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量輸入/輸出訊號以及 Swagelok® 4 VCR® 公輸入和輸出接頭。典型的反應時間約為 500 毫秒。數位校準可提供 1% 的校準氣體設定點精度。
多範圍功能可透過基於網路瀏覽器的應用程式進行配置，透過乙太網路電纜將 MFC 插入路由器或電腦即可存取該應用程式。電子診斷應用程式可讓使用者即時監控 MFC 的效能以及繪製資料和選擇變數。
世偉洛克，VCR-TM世偉洛克公司
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