MKS HPS 910 DualTrans Micropirani 绝对压电传感器 KF16 RS232，10-5 至 1500 Torr

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MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器，KF16，RS232，PN 910-11

HPS® 系列 910 是一款双传感器传感器，将 Pirani 和 Piezo 的压力测量技术与集成电子控制电路相结合。传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。 Piezo 是一种直读绝对压力传感器，允许测量独立于气体。传感器包括独特的温度补偿，可在宽测量范围内实现高精度。Piezo 的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时，MicroPirani 会对 Piezo 执行自动归零功能。与传统的皮拉尼压力表不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅片制成，因此可以在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 到大约 100 Torr，当压力超过 10 Torr 时，灵敏度会迅速降低。由于 MicroPirani™ 的传感部分尺寸非常小，因此其测量范围可低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作而不会影响精度，从而简化了安装。传感器包括一个按钮零点控制，当压力低于 10-5 Torr 时可以使用。

910 系列数字通信允许通过主机实时进行所有调整和监控。 910 包括 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。 910 系列在 15 针高密度 D-sub 公接头上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间平滑，并从两个传感器读取 5 至 15 Torr 范围内的值。对于过程控制，910 有三个独立的继电器设定点。可以通过数字端口设置、调整和监控设定点的特性。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电式测量与气体类型无关。 910 提供数字泄漏检测输出，可测量压电式和 MicroPirani™ 之间的差分读数。这使其成为定位真空系统中中等至细小泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以将 910 DualTrans 与本网站上销售的 PDR900 系列控制器一起使用。有关完整规格和操作信息，请参阅下面的可供下载的内容。

规格和价格如有变更，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。

选项、(PN) 部件编号和定价：全新 MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器 PN 910-11

ISO-KF NW 16，RS-232，
PN 910-11，2009 年价格 635 美元
ISO-KF NW 16，RS-485，
PN 910-12，2009 年价格 635 美元
4 VCR-F，RS-232，
PN 910-41，2009 年价格 665 美元
4 VCR-F，RS-485，
PN 910-42，2009 年价格 665 美元
8 VCR-F，RS-232，
PN 910-51，2009 年价格 670 美元
8 VCR-F，RS-485，
PN 910-52，2009 年价格 670 美元

所有价格如有变动，恕不另行通知。

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MKS_910_1.pdf (MKS_910_1.pdf, 466 Kb) [下载]

910DS.pdf (910DS.pdf, 406 Kb) [下载]

910_pinOut.pdf (910_pinOut.pdf, 239 Kb) [下载]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [下载]