MKS HPS 910 DualTrans Micropirani Absolute Piezo Transducer KF16 RS232, 10-5 ~ 1500 Torr

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MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani Absolute Piezo Transducer, KF16, RS232, PN 910-11

HPS® 시리즈 910은 Pirani와 Piezo의 압력 측정 기술을 통합 전자 제어 회로와 결합한 듀얼 센서 변환기입니다. 변환기 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 절대 압력 센서로 가스에 관계없이 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 포함되어 있어 광범위한 측정 범위에서 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1에서 1,500 Torr까지 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 조정 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 소자는 1밀리미터 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피에서 측정할 수 있습니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3에서 약 100 Torr이며 10 Torr 이상에서는 감도가 빠르게 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분 크기가 매우 작기 때문에 범위는 10-5 Torr까지 떨어집니다. 이 설계는 대류의 영향을 최소화하므로 정확도를 떨어뜨리지 않고 모든 위치에서 작동이 가능하여 설치가 간편합니다. 이 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 영점 조정이 포함되어 있습니다.

910 시리즈 디지털 통신을 통해 모든 조정 및 모니터링을 호스트 컴퓨터를 통해 실시간으로 제공할 수 있습니다. 910에는 표준 기능으로 RS485 또는 RS232 통신이 포함되어 있습니다. 910 시리즈는 수컷 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15Torr 범위에서 두 센서에서 읽습니다. 프로세스 제어를 위해 910에는 세 개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 설정점의 기능은 디지털 포트를 통해 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열 전도도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 910은 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차등 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이를 통해 진공 시스템에서 중간에서 미세 누출을 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 910 DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.


  • 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다.

    옵션, (PN) 부품 번호 및 가격: 새로운 MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani Absolute Piezo Transducer PN 910-11

    ISO-KF NW 16, RS-232,
    PN 910-11, 2009 가격 $635
    ISO-KF NW 16, RS-485,
    PN 910-12, 2009 가격 $635
    4 VCR-F, RS-232,
    PN 910-41, 2009 가격 $665
    4 VCR-F, RS-485,
    PN 910-42, 2009 가격 $665
    8 VCR-F, RS-232,
    PN 910-51, 2009 가격 $670
    8 VCR-F, RS-485,
    PN 910-52, 2009 가격 $670
  • 모든 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다.
  • 910manual.pdf (910manual.pdf, 581 Kb) [다운로드]

    MKS_910_1.pdf (MKS_910_1.pdf, 466 Kb) [다운로드]

    910DS.pdf (910DS.pdf, 406 Kb) [다운로드]

    910_pinOut.pdf (910_pinOut.pdf, 239 Kb) [다운로드]

    900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [다운로드]

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