MKS HPS 910 DualTrans Micropirani アブソリュートピエゾトランスデューサー KF16 RS232、10-5 ～ 1500 Torr
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MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani 絶対ピエゾ トランスデューサー、KF16、RS232、PN 910-11
仕様と価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® および MicroPirani™ は、MKS Instruments, Inc. の登録商標です。
オプション、(PN) 部品番号および価格: 新しい MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani アブソリュート ピエゾ トランスデューサー PN 910-11
ISO-KF NW 16、RS-232、
PN 910-11、2009 価格 $635
ISO-KF NW 16、RS-485、
PN 910-12、2009 価格 $635
4 VCR-F、RS-232、
PN 910-41、2009 価格665 ドル
4 VCR-F、RS-485、
PN 910-42、2009 価格 665 ドル
8 VCR-F、RS-232、
PN 910-51、2009 価格 670 ドル
8 VCR-F、RS-485、
PN 910-52、2009 価格 670 ドル
すべての価格は予告なく変更される場合があります。
HPS® シリーズ 910 は、ピラニとピエゾの圧力測定技術と統合電子制御回路を組み合わせたデュアル センサー トランスデューサーです。トランスデューサーの測定範囲は 10-5 ～ 1,500 Torr です。
ピエゾは直接読み取りの絶対圧力センサーで、ガスに依存しない測定が可能です。センサーには独自の温度補正が組み込まれており、広い測定範囲で高精度を実現します。ピエゾは 10-1 から 1,500 Torr まで測定します。MicroPirani は、圧力が 10-2 Torr 未満の場合、ピエゾに対して自動ゼロ機能を実行します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の要素は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな容積で測定を行うことができます。従来のピラニ センサーの測定範囲は 10-3 から約 100 Torr で、10 Torr を超えると急速に感度が低下します。MicroPirani™ の感知部分のサイズが非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。設計により対流の影響が最小限に抑えられるため、精度を損なうことなく任意の位置で操作でき、設置が簡単になります。トランスデューサーには、圧力が 10-5 Torr 未満の場合に使用できるプッシュ ボタン ゼロ コントロールが含まれています。
シリーズ 910 のデジタル通信により、すべての調整と監視をホスト コンピュータ経由でリアルタイムで実行できます。 910 には、RS485 または RS232 通信が標準機能として含まれています。シリーズ 910 は、オスの 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルト DC アナログ出力信号を提供します。 トランスデューサ出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取ります。 プロセス制御用に、910 には 3 つの独立したリレー セットポイントがあります。セットポイントの機能は、デジタル ポートを介して設定、調整、および監視できます。 すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。Piezo はガスの種類に関係なく測定します。910 は、Piezo と MicroPirani™ 間の差分読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システムで中程度から微細なリークを見つけるためのシンプルなソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーで 910 DualTrans を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
シリーズ 910 のデジタル通信により、すべての調整と監視をホスト コンピュータ経由でリアルタイムで実行できます。 910 には、RS485 または RS232 通信が標準機能として含まれています。シリーズ 910 は、オスの 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルト DC アナログ出力信号を提供します。 トランスデューサ出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取ります。 プロセス制御用に、910 には 3 つの独立したリレー セットポイントがあります。セットポイントの機能は、デジタル ポートを介して設定、調整、および監視できます。 すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。Piezo はガスの種類に関係なく測定します。910 は、Piezo と MicroPirani™ 間の差分読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システムで中程度から微細なリークを見つけるためのシンプルなソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーで 910 DualTrans を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
オプション、(PN) 部品番号および価格: 新しい MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani アブソリュート ピエゾ トランスデューサー PN 910-11
ISO-KF NW 16、RS-232、
PN 910-11、2009 価格 $635
ISO-KF NW 16、RS-485、
PN 910-12、2009 価格 $635
4 VCR-F、RS-232、
PN 910-41、2009 価格665 ドル
4 VCR-F、RS-485、
PN 910-42、2009 価格 665 ドル
8 VCR-F、RS-232、
PN 910-51、2009 価格 670 ドル
8 VCR-F、RS-485、
PN 910-52、2009 価格 670 ドル
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