Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F 超高真空半导体低温泵，非机载，LF ISO 250，三相，翻新
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Edwards CTI Brooks 零件编号：8116086G002。
Edwards CTI-Cryogenics（现为 Edwards）Cryo-Torr OB250F 三相低温泵专为半导体行业增强性能和紧凑空间要求而设计和制造。
该低温泵具有 ISO 250 入口法兰和标准 KF-25 粗抽泵法兰。它能够达到 10-8 Torr 超高真空 (UHV)，额定抽速为：
该 Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 三 (3) 相泵仅使用三 (3) 相电源运行。电力由特殊的 CTI 三相电机控制器提供。
CTI 三相 Cryo-Torr 250F 低温泵不会将任何运动部件、工作液或后备泵暴露在真空中，从而消除了系统回流或低温泵本身造成工艺污染的可能性。
该低温泵具有 ISO 250 入口法兰和标准 KF-25 粗抽泵法兰。它能够达到 10-8 Torr 超高真空 (UHV)，额定抽速为：
- 水………. 6500 l/sec
- 空气………..…. 2200 l/sec
- 氢气..…. 3200 l/sec
- 氩气………. 1800 l/sec
该 Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 三 (3) 相泵仅使用三 (3) 相电源运行。电力由特殊的 CTI 三相电机控制器提供。
CTI 三相 Cryo-Torr 250F 低温泵不会将任何运动部件、工作液或后备泵暴露在真空中，从而消除了系统回流或低温泵本身造成工艺污染的可能性。
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