Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F 超高真空半導體低溫泵，非板載，LF ISO 250，三相，重建
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Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F 超高真空半導體低溫泵，LF ISO 250，三相，重建，6500 l/s 水，2200 l/s 空氣，1800 l/s 氬氣，重建。 >
Edwards CTI Brooks 零件號碼：8116086G002。
Edwards CTI Brooks 零件號碼：8116086G002。
Edwards CTI-Cryogenics（現為 Edwards）Cryo-Torr OB250F 三 (3) 相低溫幫浦專為半導體產業的增強性能和狹小空間需求而設計和製造。
此低溫幫浦具有 ISO 250 入口法蘭和標準 KF-25 低真空幫浦法蘭。它能夠產生 10-8 Torr 超高真空 (UHV)，額定抽速為：
這款 Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 三 (3) 相泵僅使用三 (3) 相電源運作。電力由特殊的 CTI 三相馬達控制器提供。
CTI 三相 Cryo-Torr 250F 低溫幫浦不會將任何移動部件、工作液或前級幫浦暴露在真空中，從而消除了系統回流或低溫幫浦本身造成製程污染的可能性。
此低溫幫浦具有 ISO 250 入口法蘭和標準 KF-25 低真空幫浦法蘭。它能夠產生 10-8 Torr 超高真空 (UHV)，額定抽速為：
- 水…………。 6500 公升/秒
- 空氣………………。 2200 公升/秒
- 氫……。 3200 公升/秒
- 氬氣……。 1800 公升/秒
這款 Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 三 (3) 相泵僅使用三 (3) 相電源運作。電力由特殊的 CTI 三相馬達控制器提供。
CTI 三相 Cryo-Torr 250F 低溫幫浦不會將任何移動部件、工作液或前級幫浦暴露在真空中，從而消除了系統回流或低溫幫浦本身造成製程污染的可能性。
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