Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F 超高真空半導体クライオポンプ、非オンボード、LF ISO 250、3 相、再構築
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Edwards CTI Brooks 部品番号: 8116086G002。
Edwards CTI-Cryogenics (現在は Edwards) Cryo-Torr OB250F、3 相、クライオポンプは、半導体業界での使用における強化されたパフォーマンスと狭いスペース要件に合わせて特別に設計および構築されています。
このクライオポンプには、ISO 250 入口フランジと標準 KF-25 粗引きポンプフランジがあります。10-8 Torr の超高真空 (UHV) に対応し、定格排気速度は次の通りです:
この Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 三相ポンプは、三相電源のみで動作します。電力は、特別な CTI 三相モーター コントローラーによって供給されます。
CTI の 3 相 Cryo-Torr 250F クライオポンプは、可動部品、作動流体、補助ポンプを真空にさらさないため、クライオポンプ自体によるシステムの逆流やプロセス汚染の可能性が排除されます。
このクライオポンプには、ISO 250 入口フランジと標準 KF-25 粗引きポンプフランジがあります。10-8 Torr の超高真空 (UHV) に対応し、定格排気速度は次の通りです:
- 水 ………. 6500 l/秒
- 空気 ………..…. 2200 l/秒
- 水素 ………. 3200 l/秒
- アルゴン ………. 1800 l/秒
この Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 三相ポンプは、三相電源のみで動作します。電力は、特別な CTI 三相モーター コントローラーによって供給されます。
CTI の 3 相 Cryo-Torr 250F クライオポンプは、可動部品、作動流体、補助ポンプを真空にさらさないため、クライオポンプ自体によるシステムの逆流やプロセス汚染の可能性が排除されます。
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