새로운 MKS HPS 910 DualTrans Micropirani Absolute Piezo Transducer KF25 RS2832, DISPLAY, 릴레이 없음. PN: 910-21024

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신제품 MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani Absolute Piezo Transducer, KF25, RS485, DISPLAY, 릴레이 없음, PN 910-21024

MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute Piezo Vacuum Transducer는 광범위한 압력 측정 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었으며 NW25 ISO-KF 플랜지 피팅이 특징입니다. 결합된 출력은 기존 열전도도 게이지보다 훨씬 더 높은 정확도, 안정성, 반복성 및 더 빠른 응답 시간을 제공합니다. 910은 두 가지 압력 측정 기술을 결합하여 뛰어난 성능과 기능을 제공합니다. 910은 열전도도 센서보다 정확도가 향상된 11~1500 Torr의 가스 독립 절대 압력 측정을 제공합니다. 기존 피라니 게이지와 달리 MicroPirani의 센서 요소는 1밀리미터 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피에서 측정이 가능합니다. MicroPirani 기술의 결과로 910은 표준 피라니 센서보다 20배 낮은 10-5 Torr까지의 압력을 읽을 수 있습니다. 센서 설계는 대류의 영향을 최소화하므로 정확도를 떨어뜨리지 않고 910을 어떤 방향으로든 장착할 수 있습니다.

Piezo는 절대 압력 센서로, 직접적인 압력 판독을 제공하여 가스에 관계없이 측정할 수 있습니다. Piezo 센서는 1 Torr 미만에서 1500 Torr까지 측정합니다. 910에는 트랜스듀서 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공하기 위한 RS232 디지털 통신 인터페이스가 있습니다. 910에는 압력 판독 또는 제어를 위해 외부 아날로그 장비에 인터페이스할 수 있는 1VDC/decade의 아날로그 압력 출력도 있습니다. 다른 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. 910에는 프로세스 제어에 사용할 수 있는 3개의 기계적 릴레이가 있습니다(예: 연동 분리 밸브 및 진공 펌프). 각 설정점은 피에조 측정 또는 결합된 절대 MicroPirani/Piezo 측정에 할당할 수 있습니다. 910의 컴팩트한 디자인은 진공 게이지가 차지하는 공간을 크게 줄입니다. 이는 특히 시스템 설계자에게 매력적이며 보다 컴팩트한 진공 시스템을 가능하게 합니다. 참고: 전체 사양은 다운로드 옆에 있는 .pdf를 참조하세요.

910manual.pdf (910manual.pdf, 581 Kb) [다운로드]

MKS_910_1.pdf (MKS_910_1.pdf, 466 Kb) [다운로드]

910DS.pdf (910DS.pdf, 406 Kb) [다운로드]

910_pinOut.pdf (910_pinOut.pdf, 239 Kb) [다운로드]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [다운로드]

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