新しい MKS HPS 910 DualTrans Micropirani アブソリュート ピエゾ トランスデューサー KF25 RS2832、ディスプレイ、リレーなし。PN: 910-21024
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新しい MKS HPS® シリーズ 910 DualTrans™ Micropirani アブソリュート ピエゾ トランスデューサ、KF25、RS485、ディスプレイ、リレーなし、PN 910-21024
MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/アブソリュート ピエゾ 真空トランスデューサは、広範囲の圧力測定アプリケーション向けに特別に設計されており、サイズ NW25 ISO-KF フランジ フィッティングを備えています。この組み合わせの出力により、従来の熱伝導率ゲージよりも大幅に高い精度、安定性、再現性、および高速応答時間が得られます。910 は、2 つの圧力測定技術を組み合わせて、優れたパフォーマンスと機能を提供します。910 は、熱伝導率センサーよりも高い精度で、11 ～ 1500 Torr のガスに依存しない絶対圧力測定を提供します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani のセンサー要素は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。MicroPirani 技術により、910 は 10-5 Torr までの圧力を読み取ることができ、これは標準的なピラニ センサーより 20 倍低い値です。センサー設計により対流の影響が最小限に抑えられるため、910 は精度を損なうことなく任意の方向に取り付けることができます。
Piezo は絶対圧力センサーで、直接圧力を読み取ることができるため、ガスに依存しない測定が可能です。Piezo センサーは 1 Torr 未満から 1500 Torr まで測定します。910 には、トランスデューサー パラメーターの設定とリアルタイム圧力測定を行うための RS232 デジタル通信インターフェイスがあります。910 には 1VDC/10 倍のアナログ圧力出力もあり、外部アナログ機器に接続して圧力の読み取りや制御を行うことができます。その他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスから選択できます。 910 には、インターロック遮断弁や真空ポンプなどのプロセス制御に使用できる 3 つの機械式リレーがあります。各設定ポイントは、ピエゾ測定または組み合わせた絶対 MicroPirani/Piezo 測定に割り当てることができます。910 のコンパクトな設計により、真空ゲージが占めるスペースが大幅に削減されます。これはシステム設計者にとって特に魅力的であり、よりコンパクトな真空システムを実現します。注: 完全な仕様については、ダウンロードの横にある .pdf を参照してください。
MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/アブソリュート ピエゾ 真空トランスデューサは、広範囲の圧力測定アプリケーション向けに特別に設計されており、サイズ NW25 ISO-KF フランジ フィッティングを備えています。この組み合わせの出力により、従来の熱伝導率ゲージよりも大幅に高い精度、安定性、再現性、および高速応答時間が得られます。910 は、2 つの圧力測定技術を組み合わせて、優れたパフォーマンスと機能を提供します。910 は、熱伝導率センサーよりも高い精度で、11 ～ 1500 Torr のガスに依存しない絶対圧力測定を提供します。従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani のセンサー要素は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。MicroPirani 技術により、910 は 10-5 Torr までの圧力を読み取ることができ、これは標準的なピラニ センサーより 20 倍低い値です。センサー設計により対流の影響が最小限に抑えられるため、910 は精度を損なうことなく任意の方向に取り付けることができます。
Piezo は絶対圧力センサーで、直接圧力を読み取ることができるため、ガスに依存しない測定が可能です。Piezo センサーは 1 Torr 未満から 1500 Torr まで測定します。910 には、トランスデューサー パラメーターの設定とリアルタイム圧力測定を行うための RS232 デジタル通信インターフェイスがあります。910 には 1VDC/10 倍のアナログ圧力出力もあり、外部アナログ機器に接続して圧力の読み取りや制御を行うことができます。その他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスから選択できます。 910 には、インターロック遮断弁や真空ポンプなどのプロセス制御に使用できる 3 つの機械式リレーがあります。各設定ポイントは、ピエゾ測定または組み合わせた絶対 MicroPirani/Piezo 測定に割り当てることができます。910 のコンパクトな設計により、真空ゲージが占めるスペースが大幅に削減されます。これはシステム設計者にとって特に魅力的であり、よりコンパクトな真空システムを実現します。注: 完全な仕様については、ダウンロードの横にある .pdf を参照してください。
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