MKS R 系列闸阀，ISO-F 100 真空法兰，DN100，气动，24 VDC 电磁阀，双位置指示器开关，4 英寸 ID，氟橡胶密封件，螺栓连接 SS
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螺栓固定法兰 (M8 x 1.25)、不锈钢阀体。
这些 MKS R 系列闸阀针对半导体和通用真空应用中的粗加工泵和粗加工管线隔离进行了优化。这些 R 系列闸阀非常适合低至 1x10-7 Torr 的高真空 (HV) 应用，并且具有气动和位置指示器等选项。 R 系列采用弹性体轴密封作为执行器密封，从而以经济高效、高价值的封装实现高性能，适用于粗真空应用。此列表适用于 ISO-100 螺栓固定真空法兰版本，配有气动空气执行器，包括 24 VDC 电磁阀和双位置指示器开关（常开）。
产品特点：
产品配置：
产品特点：
- 出色的温度均匀性确保内表面无冷点
- DN80 和 DN100 > 200,000 次循环
- DN160 > 100,000 次循环
- 提供 DN80、DN100 和 DN160mm 尺寸
产品配置：
- 阀门孔径/法兰尺寸：DN100
- 材料：不锈钢
- 启动：气动
- 密封材料：Viton/FKM
- 限位开关：两个开关均为常开 (N/O)
- 磁簧开关：额定电流 < 80mA
- 电磁阀：24 VDC
- 加热选项：可加热至 105°C
- 压力范围（高真空 HV）：1x10-7 至 1200 Torr（1.3* 10-10 - 1.6 bar）
- 气动压力：5.4 ±1.3 atm（80 ±20 psig）
- 执行器密封：弹性体轴密封 - Viton
- 侧向泄漏率：1x10-9 atm*cc/sec
- 外部泄漏率：1x10-9 atm*cc/sec
- 最大增量压力 - 操作：22.5 Torr（30 mbar）腔侧高
- 最大增量压力 - 关闭： 1.6 atm，任意方向
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