Vanne à guillotine MKS série R, bride à vide ISO-F 100, DN100, pneumatique, solénoïde 24 VCC, interrupteurs indicateurs de position doubles, ID 4 pouces, joints Viton, SS boulonné
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Ces vannes à guillotine MKS série R sont optimisées pour l'isolation des pompes et des lignes d'ébauche dans les applications de semi-conducteurs et de vide général. Ces vannes à guillotine série R sont parfaitement adaptées aux applications à vide élevé (HV) jusqu'à 1x10-7 Torr et disposent d'options, notamment des indicateurs pneumatiques et de position. La série R utilise un joint d'arbre en élastomère pour le joint de l'actionneur, ce qui permet des performances élevées dans un ensemble rentable et de grande valeur pour les applications de vide d'ébauche. Cette liste concerne la version à bride à vide boulonnée ISO-100 avec actionneur pneumatique comprenant une électrovanne 24 VCC et des interrupteurs indicateurs de position doubles (normalement ouverts).
Caractéristiques du produit :
Configuration du produit :
Caractéristiques du produit :
- L'excellente uniformité de température garantit l'absence de points froids sur les surfaces internes
- DN80 et DN100 > 200 000 cycles
- DN160 > 100 000 cycles
- Dimensions DN80, DN100 et DN160 mm disponibles
Configuration du produit :
- Taille de l'alésage/de la bride de la vanne : DN100
- Matériaux : acier inoxydable
- Actionnement : pneumatique
- Matériaux des joints : Viton/FKM
- Interrupteurs de fin de course : les deux interrupteurs sont normalement ouverts (N/O)
- Interrupteur à lames magnétiques : courant nominal < 80 mA
- Solénoïdes : 24 VCC
- Options de chauffage : Chauffable jusqu'à 105 °C
- Plage de pression (vide élevé HV) : 1 x 10-7 à 1 200 Torr (1,3 x 10-10 - 1,6 bar)
- Pression pneumatique : 5,4 ± 1,3 atm (80 ± 20 psig)
- Joint d'actionneur : Joint d'arbre en élastomère - Viton
- Taux de fuite latéral : 1 x 10-9 atm*cc/sec
- Taux de fuite externe : 1 x 10-9 atm*cc/sec
- Delta de pression max. - Fonctionnement : 22,5 Torr (30 mbar) côté chambre haute
- Delta de pression max. - Fermé : 1,6 atm, dans les deux sens
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