MKS Instruments 气动波纹管角阀 ISO-KF NW16 不锈钢。PN:153-0016K

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全新 MKS Instruments 气动波纹管角阀 ISO-KF NW16 不锈钢。120V/50-60。 PN:153-0016K


这些全新 MKS Instruments KF16 波纹管角阀 SERIES 150 旨在确保产品质量、可靠性和价值。这些产品在从半导体制造到等离子体物理研究再到核加速器等各种应用中都能可靠地发挥作用。这些角阀主要用于真空工艺。有时,阀门在气体处理或回填系统中会遇到高于大气压的压力。这些 MKS Instruments 阀门可在从大气压到 10-9 Torr 以下的压力范围内使用。波纹管设计和关闭力可在规定的最大压力下提供可靠的操作。

单作用气缸可打开 3 英寸大小的气动阀门。当气缸排气时,强力弹簧会关闭阀门。波纹管内的弹簧直接作用在鼻管上。当电磁线圈的电控制电压发生故障或气动供应发生故障时,阀门将无法关闭。4 英寸大小的阀门有带 (V-100 系列) 或不带 (150 系列) 的关闭弹簧可供选择,6 英寸阀门则只提供不带关闭弹簧的阀门。不带关闭弹簧的阀门具有双作用气缸。所有尺寸的气动气缸都经过充分润滑,以延长阀门的使用寿命。

电磁阀可靠、小巧,且符合所需的电导率。电磁线圈可用于各种电压和频率;这款 MKS Instruments 电磁阀的电磁电压和频率为 120V/50-60(零件编号:153-0016K-120V/50-60)。许多配件可以通过气动连接端口连接。电磁控制阀的另一个特点是螺纹排气口,可以接受排气配件。这在不允许将废气排放到房间中的应用中至关重要,例如在洁净室中。


MKS-Valves-Series-150_160_web.pdf (MKS-Valves-Series-150_160_web.pdf, 4,013 Kb) [下载]

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