MKS Instruments 氣動波紋管角閥 ISO-KF NW16 不鏽鋼。零件號碼：153-0016K
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這些全新 MKS Instruments KF16 波紋管角閥系列 150 閥門設計確保產品品質、可靠性和價值。這些產品在從半導體製造到等離子體物理研究再到核加速器的各種應用中都能可靠地發揮作用。這些角閥主要用於真空製程。有時，閥門在氣體處理或回填系統中會遇到高於大氣壓力的壓力。這些 MKS Instruments 閥門可在大氣壓力至 10-9 Torr 以下的壓力範圍內使用。波紋管設計和關閉力可在規定的最大壓力下提供可靠的操作。
單作用氣壓缸將氣動閥打開至 3 吋尺寸。當汽缸排氣時，強力彈簧會關閉閥門。波紋管內的彈簧直接作用在鼻樑上。當電磁線圈的電控電壓發生故障或氣動源故障時，閥門將無法關閉。 4 吋尺寸的閥門可附（V-100 系列）或無（150 系列）關閉彈簧，6 吋閥門僅可不帶關閉彈簧。不含關閉彈簧的閥門具有雙作用氣壓缸。在所有尺寸中，氣缸都已充分潤滑，以確保閥門的使用壽命。
電磁閥可靠、體積小且符合所需的電導率。電磁線圈可用於多種電壓和頻率；此 MKS Instruments 電磁閥的電磁閥電壓和頻率為 120V/50-60（零件號：153-0016K-120V/50-60）。許多附件可以透過氣動連接連接埠連接。電磁控制閥的另一個特點是可以安裝排氣配件的螺紋排氣口。這對於不允許將廢氣排入房間的應用至關重要，例如在無塵室中。
單作用氣壓缸將氣動閥打開至 3 吋尺寸。當汽缸排氣時，強力彈簧會關閉閥門。波紋管內的彈簧直接作用在鼻樑上。當電磁線圈的電控電壓發生故障或氣動源故障時，閥門將無法關閉。 4 吋尺寸的閥門可附（V-100 系列）或無（150 系列）關閉彈簧，6 吋閥門僅可不帶關閉彈簧。不含關閉彈簧的閥門具有雙作用氣壓缸。在所有尺寸中，氣缸都已充分潤滑，以確保閥門的使用壽命。
電磁閥可靠、體積小且符合所需的電導率。電磁線圈可用於多種電壓和頻率；此 MKS Instruments 電磁閥的電磁閥電壓和頻率為 120V/50-60（零件號：153-0016K-120V/50-60）。許多附件可以透過氣動連接連接埠連接。電磁控制閥的另一個特點是可以安裝排氣配件的螺紋排氣口。這對於不允許將廢氣排入房間的應用至關重要，例如在無塵室中。
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