MKS Granville Phillips プロセス制御モジュール、307 真空ゲージ コントローラー用の 6 つの設定ポイント。PN: 307017
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MKS Granville Phillips 部品番号: 307017
これは、MKS Granville Phillips プロセス制御モジュールで、307 真空ゲージ コントローラに単極双投リレーを提供します。このリレーは、(6 つのデジタル セットポイント) または内蔵の手動オーバーライド スイッチのいずれかによって制御できます。このプロセス制御モジュールには、ユーザーが選択できる 6 つのチャネルがあります。最初の 2 つのチャネルはイオン ゲージに割り当てられます。存在する場合、チャネル 3 と 4 は CGA または TCA に割り当てられ、チャネル 5 と 6 は CGB、TCB、または CMB に割り当てられます。スイッチは、チャネル 1 を IG1、IG2、またはその両方に割り当てるために用意されています。チャネル 2 も同様です。6 つのチャネルすべてに、設定値より上または下でアクティブにするための極性を選択できます。プロセス制御カード (モジュール) のインストール手順については、取扱説明書 (pdf) の 16 ～ 27 ページを参照してください。仕様と使用手順については、取扱説明書の第 5 章を参照してください。これはプロセス制御カード モジュール (6 つの設定値付き) のみであり、MKS Granville Phillips 307 コントローラー、ケーブル、およびアクセサリはこの Web サイトで別売りです。 MKS Granville Phillips 307 真空ゲージ コントローラーの取扱説明書 (pdf) は、以下のダウンロードからダウンロードできます:
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