适用于 CTI Cryo-Torr 7 和 100 低温泵的氦侧维修套件
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这是 CTI Cryo-Torr 7 或 100 低温泵氦侧维修套件。
CTI-Cryogenics Cryo-Torr 7 或 100 泵是组成 Cryo-Torr 泵送系统的两个主要组件之一。
第二个组件是压缩机(也在此网站上出售)。
Cryo-Torr CTI 7 或 100 低温泵可快速、清洁地泵送 10-3 至 10-9 Torr 范围内的所有气体。标准应用包括半导体、航空航天和真空涂层以及研发。低温泵的工作原理是气体可以冷凝并保持在极低的蒸汽压力下,从而实现高速度和高吞吐量。Cryo-Torr 7 或 100 泵是一种高度可靠且坚固耐用的装置,只需极少的维护。由于低温泵不会将任何运动部件、工作流体或后备泵暴露在真空中,因此消除了低温泵本身对系统或工艺造成污染的可能性。
描述、安装、再生和维护程序完全包含在 Cryo Torr 泵安装、操作和维护说明 .pdf 中,可从侧面下载。
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