CTI Cryo-Torr 7 および 100 クライオポンプ用ヘリウム側修理キット
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これは CTI Cryo-Torr 7 または 100 クライオポンプのヘリウム側修理キットです。
CTI-Cryogenics Cryo-Torr 7 または 100 ポンプは、Cryo-Torr ポンピング システムを構成する 2 つの主要コンポーネントの 1 つです。
2 番目のコンポーネントはコンプレッサーです (この Web サイトでも販売されています)。
Cryo-Torr CTI 7 または 100 クライオポンプは、10-3 ～ 10-9 Torr の範囲のすべてのガスを高速かつクリーンにポンピングします。標準的な用途には、半導体、航空宇宙、真空コーティングおよび研究開発。クライオポンプは、ガスを凝縮して極めて低い蒸気圧に保持できるという原理に基づいて動作し、高速かつ高スループットを実現します。Cryo-Torr 7 または 100 ポンプは、信頼性が高く頑丈なユニットで、メンテナンスは最小限で済みます。クライオポンプは可動部品、作動流体、または補助ポンプを真空にさらさないため、クライオポンプ自体によるシステムまたはプロセスの汚染の可能性は排除されます。
説明、インストール、再生、およびメンテナンスの手順は、ダウンロード可能な Cryo Torr ポンプのインストール、操作、およびメンテナンス手順 .pdf にすべて記載されています。
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