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MKS 148J 전금속 유량 제어 밸브, 500sccm, 4VCR M Swagelok 튜브 피팅, 비톤 씰, PN: 148JA52CR1M

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MKS 범용 유량 제어 밸브, 2000 sccm, 1/4 in Swagelok 튜브 피팅, 비톤 씰
MKS 부품 번호: 148JA52CR1M

제어 전류가 공급되면 이 범용 수정 솔레노이드 밸브는 가스 흐름을 조절합니다. MKS 컨트롤러와 적절한 유량 센서와 함께 사용하면 248D 밸브는 정확하고 정밀한 압력 또는 유량을 유지하면서 가스 흐름을 조절합니다. 적용 분야에는 유량 제어, 상류 또는 하류 압력 제어가 포함됩니다. 이 모델 0248D-02000SV 밸브는 2000 표준 분당 입방 센티미터(sccm)의 질소 전체 규모 범위, Swagelok® 1/4 in. 튜브 피팅 및 비톤 씰이 특징입니다. 닫힌 밸브를 통한 누설 전도도는 <1x10-5 scc/sec He입니다.

Swagelok-TM Swagelok Company

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MKS_248D-Solenoid_Control_Valve_Datasheet.pdf (MKS_248D-Solenoid_Control_Valve_Datasheet.pdf, 1,726 Kb) [다운로드]

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