Vanne de régulation de débit tout métal MKS 148J, 500 sccm, raccord de tube Swagelok 4 VCR M, joints Viton, PN : 148JA52CR1M
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Numéro de pièce MKS : 148JA52CR1M
Lorsqu'elle est alimentée par un courant de contrôle, cette électrovanne modifiée à usage général module le débit de gaz. Lorsqu'elle est utilisée avec un contrôleur MKS et un capteur de débit approprié, la vanne 248D module le débit de gaz tout en maintenant une pression ou un débit précis et exact. Les applications incluent le contrôle du débit, le contrôle de la pression en amont ou en aval. Cette vanne modèle 0248D-02000SV présente une plage de mesure complète de 2 000 centimètres cubes par minute (sccm) d'azote standard, des raccords pour tube Swagelok® 1/4 po et des joints Viton. La conductance de fuite à travers la vanne fermée est de <1x10-5 scc/sec He.
Swagelok-TM Swagelok Company
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