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Edwards iXL600N 乾式真空幫浦。 200-460 V 50/60 Hz 三相電源。 600 m3h-1 峰值抽速。包括：3/8" 快速連接水配件。Edwards PN：A54134010。

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<中心> Edwards iXL600N 乾式真空幫浦。 200-460 V 50/60 Hz 三相電源。 600 m3h-1 峰值抽速。包括：3/8 英吋快速連接水配件。
iXL600N 是乾泵和增壓系統的組合。此系統適用於輕型應用，N 型號配有氣體模組，可為泵浦機構區域提供氮氣吹掃氣體。定子、馬達和逆變器驅動器採用水冷。泵送系統可以透過前面板、PDT 配件或透過 MicroTIM 的工具進行控制。乾泵系統適用於負載鎖和輕型應用。常見應用包括裝載鎖定、傳輸、計量、光刻、PVD 製程和 PVD ​​預清潔。

Edwards_iXL600_1000_Instruction_Manual.pdf (Edwards_iXL600_1000_Instruction_Manual.pdf, 2,341 Kb) [下載]

EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf (EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf, 953 Kb) [下載]

Edwards iXL120N 乾式真空泵，200-460VAC，氮氣吹掃連接，3/8 QC 快速斷開水接頭。
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Edwards 乾式真空幫浦 iXL120 E 200-460VAC 1/4 QC 水配件。零件號碼：A54113020。
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Edwards 乾式真空幫浦 iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC 水配件。編號：A54113610
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Edwards 乾式真空幫浦 iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC 水配件。編號：A54113710
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Edwards 乾式真空幫浦 iXL120 E 200-460VAC，3/8 QC 水配件，附流量控制裝置。閥門。編號：A54113011
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Edwards 乾式真空幫浦 iXL120 E 200-460VAC，HIT 3/8 QC 水配件，附流量連續器。閥門。編號：A54113611
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Edwards 乾式真空幫浦 iXL120 E 200-460VAC，SPI 1/4 QC 水配件，附流量連續器。閥門。編號：A54113221
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