Pompe à vide sèche Edwards iXL600N. Alimentation triphasée 200-460 V 50/60 Hz. Vitesse de pompage maximale de 600 m3h-1. Comprend : raccords d'eau à connexion rapide 3/8". Edwards PN : A54134010.
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Edwards PN : A54134010
Le iXL600N est un système combiné de pompe sèche et de surpression. Les systèmes sont destinés à être utilisés dans des applications légères et la variante N est équipée d'un module de gaz qui fournit du gaz de purge à l'azote aux zones du mécanisme de pompe. Le stator, le moteur et les variateurs sont refroidis par eau. Les systèmes de pompage peuvent être contrôlés par le panneau avant, un accessoire PDT ou par l'outil via MicroTIM. Les systèmes de pompe sèche sont destinés à être utilisés dans des applications de verrouillage de charge et de service léger. Les applications courantes comprennent le verrouillage de charge, le transfert, la métrologie, la lithographie, le processus PVD et le pré-nettoyage PVD.
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