安捷伦瓦里安 TPS 移动真空系统，配备 305 FS 涡轮、ISO100 进气口，移动推车上配有 IDP-07 干式涡旋泵
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Agilent Varian 部件编号 G8701A-011-023-036-041-110-551、9698428。
这些 Agilent Varian TPS-mobile 系统配备 Agilent 305 FS 涡轮泵，抽气速度为 255 l/s，ISO-100K 入口法兰，IDP-7 干式涡旋粗抽泵和 305-FS AG 机架安装控制器。它们是即插即用的，是一个完整的独立超高真空泵送系统，只需插入电源即可抽气。所需的只是连接到您的腔室或真空过程所需的硬件和压力表。带有 CF 法兰的 Agilent 305 FS 涡轮泵是真正的超高真空 (UHV) 泵，极限压力达到 10-10 Torr 范围（如果使用全金属进气密封垫圈，并且真空室完全清洁并烘烤）。带有 ISO-K 法兰的 Agilent 305 FS 涡轮泵的极限压力（通过橡胶/弹性体 O 形圈密封的渗透和排气）限制在 10-8 Torr 范围内。当涡轮泵采用水冷时，这些泵的进气法兰（仅 CF 法兰）可以烘烤至 100 °C。
应用包括：
Agilent Varian 305 FS 涡轮分子真空泵说明
这些 Agilent Varian TwisTorr 305-FS 涡轮分子高真空泵具有新的和改进的性能，包括新设计的迷宫式 Twistorr 拖曳级技术和 Agilent 浮动悬架 (AFS) 以及优化的热设计映射。 TwisTorr 拖曳级可为氢气和氦气等轻质气体提供高压缩比，从而提供高吞吐量和高前级压力耐受性，从而允许使用更小、更经济的前级泵。该技术可实现紧凑的转子设计，既节能又能保持较低的工作温度。安捷伦浮动悬挂系统可降低噪音和振动，并确保最佳轴承运行条件，从而延长使用寿命、最大限度地减少系统停机时间并确保长时间稳定的泵送性能。独特的永久润滑陶瓷球轴承无需油和维护，并允许泵以任何方向运行。安捷伦涡轮泵专为在实际应用中实现最佳性能而设计，其紧凑的尺寸可满足对空间有严格要求的行业的需求。这些新型安捷伦 TwisTorr 305 FS 涡轮泵几乎不需要维护。下面提供了 TwisTorr 305 FS 涡轮泵的 PDF 用户说明手册供下载。
Agilent Varian FS AG 机架控制器说明
Agilent Varian 机架控制器具有 RS232-485 连接器，是一种固态变频器，可驱动 TwisTorr 涡轮泵、为冷却风扇供电并驱动排气阀。它提供并获取宽范围压力表的压力，并在停止命令后读取速度。下面提供了机架控制器的 PDF 用户说明手册供下载。
IDP-7 干式涡旋粗抽泵说明
新型 Agilent Varian IDP-07 干式涡旋真空泵设计为极其安静（<55 dBA）和低振动运行，在 60 Hz 时提供 5.4 cfm（9.1 m3/h）的峰值抽速，并产生 20 mTorr 的极限压力。这些新型 Agilent IDP-07 干式涡旋泵采用密封设计，适用于氦气再循环以及真空炉和前级泵应用。密封设计为泵提供了一条干净的气路，消除了油或油脂污染的风险，使电机和轴承可以在大气压下运行，避免暴露于真空工艺气体或水蒸气。Agilent IDP-07 支持全球单相电机，工作电压范围可在 100-120V 或 200-230 VAC 之间轻松切换，频率为 50/60Hz。IDP-7 的 PDF 用户说明手册可在侧面下载。
应用包括：
- 超高压系统抽气
- 离子泵粗加工
- 灯和管处理
- 低温泵再生
- 高真空系统操作
- 高真空和超高真空系统烘烤
- Agilent Varian 305 FS TwisTorr 涡轮分子泵，ISO-100 入口，255 l/s
- Agilent Varian 305 AG FS 机架控制器，PN X3506-64130
- Agilent Varian 机架控制器空气冷却风扇套件，PN X3500-68011
- Agilent Varian IDP-07 干式涡旋粗抽泵，部件号 X3807-64010
- 带筛网的 ISO-100 入口定心环，部件号 X3500-68000
- 带轮子和可调节泵高度的移动推车
- 交流电源线，3 米，部件号 9699958
Agilent Varian 305 FS 涡轮分子真空泵说明
这些 Agilent Varian TwisTorr 305-FS 涡轮分子高真空泵具有新的和改进的性能，包括新设计的迷宫式 Twistorr 拖曳级技术和 Agilent 浮动悬架 (AFS) 以及优化的热设计映射。 TwisTorr 拖曳级可为氢气和氦气等轻质气体提供高压缩比，从而提供高吞吐量和高前级压力耐受性，从而允许使用更小、更经济的前级泵。该技术可实现紧凑的转子设计，既节能又能保持较低的工作温度。安捷伦浮动悬挂系统可降低噪音和振动，并确保最佳轴承运行条件，从而延长使用寿命、最大限度地减少系统停机时间并确保长时间稳定的泵送性能。独特的永久润滑陶瓷球轴承无需油和维护，并允许泵以任何方向运行。安捷伦涡轮泵专为在实际应用中实现最佳性能而设计，其紧凑的尺寸可满足对空间有严格要求的行业的需求。这些新型安捷伦 TwisTorr 305 FS 涡轮泵几乎不需要维护。下面提供了 TwisTorr 305 FS 涡轮泵的 PDF 用户说明手册供下载。
Agilent Varian FS AG 机架控制器说明
Agilent Varian 机架控制器具有 RS232-485 连接器，是一种固态变频器，可驱动 TwisTorr 涡轮泵、为冷却风扇供电并驱动排气阀。它提供并获取宽范围压力表的压力，并在停止命令后读取速度。下面提供了机架控制器的 PDF 用户说明手册供下载。
IDP-7 干式涡旋粗抽泵说明
新型 Agilent Varian IDP-07 干式涡旋真空泵设计为极其安静（<55 dBA）和低振动运行，在 60 Hz 时提供 5.4 cfm（9.1 m3/h）的峰值抽速，并产生 20 mTorr 的极限压力。这些新型 Agilent IDP-07 干式涡旋泵采用密封设计，适用于氦气再循环以及真空炉和前级泵应用。密封设计为泵提供了一条干净的气路，消除了油或油脂污染的风险，使电机和轴承可以在大气压下运行，避免暴露于真空工艺气体或水蒸气。Agilent IDP-07 支持全球单相电机，工作电压范围可在 100-120V 或 200-230 VAC 之间轻松切换，频率为 50/60Hz。IDP-7 的 PDF 用户说明手册可在侧面下载。
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