Agilent Varian TPS-モバイル真空システム（305 FS ターボ、ISO100 インレット、モバイルカートに搭載された IDP-07 ドライスクロールポンプ付き）

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Agilent Varian TPS-mobile システム、TwisTorr 305 FS Turbo、ISO-100 インレット、IDP-07 ドライスクロールポンプ、モバイルカートにラックコントローラを搭載。
Agilent Varian 部品番号 G8701A-011-023-036-041-110-551、9698428。

これらの Agilent Varian TPS-mobile システムには、255 l/s のポンピング速度を持つ Agilent 305 FS ターボポンプ、ISO-100K インレットフランジ、IDP-7 ドライスクロール粗引きポンプ、および 305-FS AG ラックマウントコントローラが付属しています。これらはプラグアンドプレイで、プラグを差し込んでポンプダウンするだけの完全な自己完結型の超高真空ポンプシステムです。必要なのは、チャンバーまたは真空プロセスに接続するために必要なハードウェアと圧力ゲージだけです。CF フランジ付きの Agilent 305 FS ターボポンプは、真の超高真空 (UHV) ポンプであり、最終圧力は 10-10 Torr の範囲になります (全金属製の吸気シールガスケットを使用し、真空チャンバーが完全にクリーンでベークアウトされている場合)。ISO-K フランジ付きの Agilent 305 FS ターボポンプは、最終圧力が 10-8 Torr の範囲に制限されます (ゴム/エラストマー O リングシールの浸透とガス放出により)。これらのポンプの吸気フランジ (CF フランジのみ) は、ターボが水冷されている場合は 100 °C までベークできます。

アプリケーションには以下が含まれます:

UHV システムのポンプダウン
イオンポンプの粗加工
ランプおよびチューブの処理
クライオポンプの再生
高真空システムの操作
高真空および超高真空システムのベークアウト

この Agilent Varian TPS-mobile には、次のコンポーネントが含まれています:

Agilent Varian 305 FS TwisTorr ターボ分子ポンプ、ISO-100 インレット、255 l/s
Agilent Varian 305 AG FS ラックコントローラ、PN X3506-64130
Agilent Varian ラックコントローラ用空冷ファンキット、PN X3500-68011
Agilent Varian IDP-07 ドライスクロール粗引きポンプ、PN X3807-64010
スクリーン付き ISO-100 インレットセンタリングリング、部品番号 X3500-68000
車輪付き移動式カート、ポンプの高さ調整可能
AC 電源コード、3 メートル、部品番号 9699958

Agilent Varian 305 FS ターボ分子真空ポンプに関する注意事項
これらの Agilent Varian TwisTorr 305-FS ターボ分子高真空ポンプは、新しく設計されたラビリンス Twistorr ドラッグステージ技術、Agilent フローティングサスペンション (AFS)、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改善されたパフォーマンスを備えています。 TwisTorr ドラッグステージは、水素やヘリウムなどの軽量ガスの高圧縮比を実現し、高スループットとフォアライン圧力の高許容度を実現することで、より小型で経済的なバッキングポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率に優れ、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。Agilent フローティングサスペンションシステムは、ノイズと振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。永久潤滑を備えた独自のセラミックボールベアリングにより、オイルとメンテナンスが不要になり、ポンプを任意の方向で動作させることができます。Agilent ターボポンプは、コンパクトなサイズで厳しいスペース要件を持つ業界のニーズを満たす、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮するように設計されています。これらの新しい Agilent TwisTorr 305 FS ターボポンプは、メンテナンスがほとんどまたはまったく必要ありません。TwisTorr 305 FS ターボポンプの PDF ユーザーマニュアルは、以下からダウンロードできます。

Agilent Varian FS AG ラックコントローラに関する注意事項
Agilent Varian ラックコントローラには RS232-485 コネクタがあり、ソリッドステート周波数コンバーターで、TwisTorr Turbo ポンプを駆動し、冷却ファンに電力を供給し、ベントバルブを駆動します。広範囲ゲージの圧力を提供および取得し、停止コマンド後の速度読み取りを行います。ラックコントローラの PDF ユーザーマニュアルは、以下からダウンロードできます。

IDP-7 ドライスクロール粗引きポンプに関する注意事項
新しい Agilent Varian IDP-07 ドライスクロール真空ポンプは、非常に静かな

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