MKS T2BA バタフライ排気スロットルバルブ、KF40、「F シール」(フラッパー上の Viton O リング)、RS232、センサー電源 (Baratron 用)。PN: T2BA01K320003V210025
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RS232、+/-15VDC センサー電源付き (Baratron 用)。
MKS 部品番号: T2BA01K320003V210025。
MKS T2BA 排気スロットルバルブは、シンプルでありながら高度な圧力制御システムが求められるアプリケーション向けに特別に設計されています。T2BA は、すべての制御、通信、およびドライバ回路をスロットルバルブアセンブリ内に統合しているため、圧力制御電子モジュールを別途取り付ける必要がありません。独自のモデルベースの制御アルゴリズムと高速動作により、システムは最小限のオーバーシュートで設定点に素早く到達し、オペレーターの介入なしに繰り返し可能なプロセスレシピが確保されます。
T2BA 排気スロットル バルブは、フラッパーの位置決めまたは圧力制御の 2 つの主要なモードで動作できます。どちらも、I/O インターフェイスを介してユーザーがアクティブ化できます。調整可能なセットアップ パラメータ、実行時の操作、および診断情報はすべて、通信インターフェイスを介して利用できます。EtherCAT T2BA は、EtherCAT マノメータと完全に互換性があります。アナログ マノメータにはゲートウェイが必要です。
下流の圧力制御技術は、広いダイナミック レンジを提供し、すべてのタイプのポンプで動作し、高速応答を提供し、ほとんどの排出ガスに耐えます。「インテリジェント インストルメント」コンセプトにより、貴重なシステム スペースの節約、ノイズ耐性の向上、およびオンボード診断機能だけでなく、タイム クリティカルなプロセスおよびキャリブレーション情報への容易なアクセスが実現します。
T2BA は、ダイレクト ドライブの高速ステッピング モーターを採用しています。バルブ ドライバは、高解像度の圧力制御を提供します。オプションの高トルクダイレクトドライブモーターは、稼働時間を延長し、予防保守サイクルを延長します。これは、1 時間のダウンタイムで数千ドルのコストがかかる厳しいプロセスで大きな利点となります。T2BA にはギア付きバージョンもあり、最大トルクを提供し、過酷な環境での長期運用を可能にします。T2BA バルブは、オプションで MKS 外部ヒーターを使用して 200°C まで加熱できます (シール材料を適切に選択する必要があります)。
T2BA には独自の MKS 低コンダクタンスバージョンがあり、排気圧制御、CVD、RTP などの大気アプリケーションで高速圧力制御が可能で、O リングベースの設計に頼ってバルブのコンダクタンスを最小限に抑える必要はありません。 診断用にエンコーダベースの位置フィードバックシステムが提供されます。バルブは、ほとんどのプロセスガスと互換性のある耐腐食性 316 ステンレス鋼で作られており、1 インチから 4 インチのボアサイズ (カスタムベースで代替サイズも利用可能) の標準 ISO フランジスタイルで利用できます。提供される標準シールは Viton® ですが、さまざまなプロセス化学や加熱アプリケーションとの互換性のために代替材料を指定することもできます。
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製品の特徴:
- コンパクトな圧力制御システム - オンボード コントローラ エレクトロニクスを統合したバルブ
- 簡単に統合でき、追加のケーブルやラック スペースは不要 - 高速構成が利用可能 (開から閉まで 250 ミリ秒未満)
- フローおよび圧力の変動からの設定点および回復が高速
- 高いツール スループットを実現 - 選択可能な高トルク ドライブ - 過酷なプロセス条件での稼働時間を延長
- 範囲の自動切り替え機能を備えたデュアル チャネル Baratron® センサー入力 - 幅広い動的圧力制御範囲をサポート
- 高度なモデルベースの圧力制御アルゴリズム - 設定点までの時間を最小限に抑える
- 低コンダクタンスのソフトシーリングバージョンで利用可能 - 低流量でも高圧プロセスをサポート (Epi、RTP、SACVD など)
- 接続された Baratron 静電容量マノメーターに電力を供給します (オプション、一部のモデル)
- 高精度の圧力制御が可能
- オペレーターの介入なしに繰り返し可能なプロセスレシピを確保
- 「ハウス排気」または大気アプリケーションに適しています
T2BA 排気スロットル バルブは、フラッパーの位置決めまたは圧力制御の 2 つの主要なモードで動作できます。どちらも、I/O インターフェイスを介してユーザーがアクティブ化できます。調整可能なセットアップ パラメータ、実行時の操作、および診断情報はすべて、通信インターフェイスを介して利用できます。EtherCAT T2BA は、EtherCAT マノメータと完全に互換性があります。アナログ マノメータにはゲートウェイが必要です。
下流の圧力制御技術は、広いダイナミック レンジを提供し、すべてのタイプのポンプで動作し、高速応答を提供し、ほとんどの排出ガスに耐えます。「インテリジェント インストルメント」コンセプトにより、貴重なシステム スペースの節約、ノイズ耐性の向上、およびオンボード診断機能だけでなく、タイム クリティカルなプロセスおよびキャリブレーション情報への容易なアクセスが実現します。
T2BA は、ダイレクト ドライブの高速ステッピング モーターを採用しています。バルブ ドライバは、高解像度の圧力制御を提供します。オプションの高トルクダイレクトドライブモーターは、稼働時間を延長し、予防保守サイクルを延長します。これは、1 時間のダウンタイムで数千ドルのコストがかかる厳しいプロセスで大きな利点となります。T2BA にはギア付きバージョンもあり、最大トルクを提供し、過酷な環境での長期運用を可能にします。T2BA バルブは、オプションで MKS 外部ヒーターを使用して 200°C まで加熱できます (シール材料を適切に選択する必要があります)。
T2BA には独自の MKS 低コンダクタンスバージョンがあり、排気圧制御、CVD、RTP などの大気アプリケーションで高速圧力制御が可能で、O リングベースの設計に頼ってバルブのコンダクタンスを最小限に抑える必要はありません。 診断用にエンコーダベースの位置フィードバックシステムが提供されます。バルブは、ほとんどのプロセスガスと互換性のある耐腐食性 316 ステンレス鋼で作られており、1 インチから 4 インチのボアサイズ (カスタムベースで代替サイズも利用可能) の標準 ISO フランジスタイルで利用できます。提供される標準シールは Viton® ですが、さまざまなプロセス化学や加熱アプリケーションとの互換性のために代替材料を指定することもできます。
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