MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 246 또는 247 컨트롤러를 179 또는 GM50A 질량 유량 컨트롤러에 연결합니다. 10피트(3m). PN: RCBDMFC-1-10

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MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 246 또는 247 컨트롤러를 179 또는 GM50A 질량 유량 컨트롤러에 연결합니다. 15핀 유형 D 커넥터, 10피트(3m) 길이.
MKS 부품 번호: RCBDMFC-1-10.

MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 179, 258, 358, 558, 1159, 1162, 1179, 1259, 1261, 1359, 1449, 1459, 1479, 1559, 1562, 1679, 2159, 2162, 2259, GE50A, GM50A, GM100A, IE50A, IM50A, P250A, IM250A, M10B, M100 질량 유량 컨트롤러를 15핀 유형 D 고밀도 초소형 커넥터에서 15핀 표준 초소형 커넥터로 246, 247 또는 660 컨트롤러에 연결합니다. 케이블만 해당됩니다.

MKS 946은 다재다능한 하프 랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 최대 6개의 다른 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 대한 전원 및 동시 판독을 제공하며, 압력 제어 옵션도 있습니다.
전원 공급 장치/판독은 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 컨트롤을 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6채널/순차적으로 선택 가능한 단일 판독입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독과 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.

246C-Manual.pdf (246C-Manual.pdf, 428 Kb) [다운로드]

247D-Manual.pdf (247D-Manual.pdf, 371 Kb) [다운로드]

MKS-g-I-seriesmfcs-man.pdf (MKS-g-I-seriesmfcs-man.pdf, 2,259 Kb) [다운로드]

GM50A-Series-Data-Sheet.pdf (GM50A-Series-Data-Sheet.pdf, 2,390 Kb) [다운로드]

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