MKS Granville Phillips プロセス制御モジュール 307 真空ゲージ コントローラ用 2 セット ポイント。PN: 307018
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MKS Granville Phillips 部品番号: 307018
これは MKS Granville Phillips プロセス制御モジュールで、307 真空ゲージ コントローラに単極双投リレーを提供します。このリレーは、(2 つのデジタル セットポイント) または内蔵の手動オーバーライド スイッチのいずれかによって制御できます。
このプロセス制御モジュールには、ユーザーが選択できる 2 つのチャネルがあります。これらの 2 つのチャネルはイオン ゲージに割り当てられます。チャネル 1 を IG1、IG2、またはその両方に割り当てるためのスイッチが用意されています。チャンネル 2 も同様です。2 つのチャンネルすべてに、設定値より上または下でのアクティブ化用に選択可能な極性があります。プロセス制御カード (モジュール) のインストール手順については、取扱説明書 (pdf) の 16 ～ 27 ページを参照してください。仕様と使用手順については、取扱説明書の第 5 章を参照してください。これはプロセス制御モジュール (2 つの設定値) のみであり、MKS Granville Phillips 307 コントローラー、ケーブル、およびアクセサリはこの Web サイトで別売りです。 MKS Granville Phillips 307 真空ゲージ コントローラーの取扱説明書 (pdf) は、以下のダウンロードからダウンロードできます:
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