MKS Granville Phillips 390 マイクロイオンゲージ ATM モジュール (GP 830、835 VQM 用)。2 つの設定ポイント、ディスプレイ付き、CF 2.75 インチ、390802-2-YG-T
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圧力測定 1x10-9 Torr。真空品質モニター (VQM) 830 または 835 用。 PN: 390802-2-YG-T
この 390802 全圧マイクロイオン モジュールは、
MKS Granville Phillips 真空品質モニター システム (VQM)
830 または 835 パワー質量分析計ゲージで動作します。VQM。
MKS Granville-Phillips Micro-Ion ATM モジュールは、実績のある Micro-Ion イオン化ゲージ技術と小型の Conductron 熱損失センサーおよび 2 つのピエゾ抵抗センサーを組み合わせ、高真空から大気圧までの正確で継続的な圧力測定を提供します。 この製品は、ダイヤフラム センサーを使用して、大気圧までの正確な絶対圧力と、真空チャンバーの周囲圧力との差圧の正確な表示を提供します。独自のセンサー設計により、高圧での熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱の影響が排除されます。この小型モジュールは、4 つのセンサーと制御電子機器をすべてコンパクトなモジュラー設計に組み合わせているため、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、必要なスペースを最小限に抑えます。 フルレンジの圧力測定は、単一のアナログ信号として出力されるか、オプションのシリアル RS-485 または DeviceNet デジタル インターフェイスを介して利用できます。 RS-485 および DeviceNet バージョンには、プロセス制御用に構成できるオプションのセットポイント リレーが最大 3 つあり、真空圧力範囲の任意の圧力または特定の差圧値にリレーを割り当てることができます。
利点は次のとおりです:
• 1 x 10-9 の高真空から大気圧までの連続圧力測定。
• 大気圧での高精度差圧測定。
• 個別の大気圧スイッチが不要になります。
• 3 つの個別のセンサーが不要になります。
• デュアル イオン化ゲージ フィラメントにより、機器の稼働時間が長くなります。
• イオン化ゲージの有効化と無効化が自動化されます。
• プロセス制御用のオプションのセットポイント リレー。
• 現場で交換可能なゲージ アセンブリ。
• アナログ、RS-485、または DeviceNet 出力が利用可能です。
• オプションのグラフィック LCD ディスプレイ。
モジュラー真空ゲージは、フロントパネルのディスプレイやコントロールを必要としないアプリケーションに最適なソリューションです。これらのコンパクトで便利、信頼性が高く、コストを節約できるモジュールには、ゲージに直接取り付けられた制御電子機器があります。オールメタル パッケージは、堅牢な筐体と高いレベルの電気ノイズ耐性を提供します。ミニ コンベクトロン モジュールは、最新の電子技術を使用して MKS Granville-Phillips®Convectron® ゲージを操作します。コンベクトロン ゲージは業界標準となっています。これは、圧力測定がセンサー ワイヤからの熱損失率に基づいている、熱伝導率ゲージのユニークなバリエーションです。伝導熱損失のみを使用する従来の熱電対ゲージやピラニ ゲージとは異なり、コンベクトロン ゲージは高圧での対流による熱損失を利用します。これにより、正確で繰り返し可能な測定範囲が大気まで広がります。
MKS Granville-Phillips Micro-Ion ATM モジュールは、実績のある Micro-Ion イオン化ゲージ技術と小型の Conductron 熱損失センサーおよび 2 つのピエゾ抵抗センサーを組み合わせ、高真空から大気圧までの正確で継続的な圧力測定を提供します。 この製品は、ダイヤフラム センサーを使用して、大気圧までの正確な絶対圧力と、真空チャンバーの周囲圧力との差圧の正確な表示を提供します。独自のセンサー設計により、高圧での熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱の影響が排除されます。この小型モジュールは、4 つのセンサーと制御電子機器をすべてコンパクトなモジュラー設計に組み合わせているため、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、必要なスペースを最小限に抑えます。 フルレンジの圧力測定は、単一のアナログ信号として出力されるか、オプションのシリアル RS-485 または DeviceNet デジタル インターフェイスを介して利用できます。 RS-485 および DeviceNet バージョンには、プロセス制御用に構成できるオプションのセットポイント リレーが最大 3 つあり、真空圧力範囲の任意の圧力または特定の差圧値にリレーを割り当てることができます。
利点は次のとおりです:
• 1 x 10-9 の高真空から大気圧までの連続圧力測定。
• 大気圧での高精度差圧測定。
• 個別の大気圧スイッチが不要になります。
• 3 つの個別のセンサーが不要になります。
• デュアル イオン化ゲージ フィラメントにより、機器の稼働時間が長くなります。
• イオン化ゲージの有効化と無効化が自動化されます。
• プロセス制御用のオプションのセットポイント リレー。
• 現場で交換可能なゲージ アセンブリ。
• アナログ、RS-485、または DeviceNet 出力が利用可能です。
• オプションのグラフィック LCD ディスプレイ。
モジュラー真空ゲージは、フロントパネルのディスプレイやコントロールを必要としないアプリケーションに最適なソリューションです。これらのコンパクトで便利、信頼性が高く、コストを節約できるモジュールには、ゲージに直接取り付けられた制御電子機器があります。オールメタル パッケージは、堅牢な筐体と高いレベルの電気ノイズ耐性を提供します。ミニ コンベクトロン モジュールは、最新の電子技術を使用して MKS Granville-Phillips®Convectron® ゲージを操作します。コンベクトロン ゲージは業界標準となっています。これは、圧力測定がセンサー ワイヤからの熱損失率に基づいている、熱伝導率ゲージのユニークなバリエーションです。伝導熱損失のみを使用する従来の熱電対ゲージやピラニ ゲージとは異なり、コンベクトロン ゲージは高圧での対流による熱損失を利用します。これにより、正確で繰り返し可能な測定範囲が大気まで広がります。
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