MKS Granville Phillips 390 마이크로 이온 ATM 모듈식 진공 압력 변환기, 설정 포인트 없음, 디스플레이 포함, NW 25KF, 390411-0-YE-T
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1x10-9 Torr의 압력 측정. PN: 390411-0-YE-T
이 390411 총압 마이크로 이온 모듈은
Granville Phillips 진공 품질 모니터 시스템(VQM)과 함께 작동합니다.
Granville-Phillips 마이크로 이온 ATM 모듈은 입증된 마이크로 이온 이온화 게이지 기술과 소형 Conductron 열 손실 센서 및 두 개의 Piezo 저항 센서를 결합하여 고진공에서 대기압까지 정확하고 지속적인 압력 측정을 제공합니다. 이 제품은 다이어프램 센서를 사용하여 대기압까지의 정확한 절대 압력을 제공하고 주변과의 진공 챔버 차압을 정밀하게 표시할 수 있습니다. 독특한 센서 설계는 더 높은 압력에서 열 손실 센서의 성능에 영향을 줄 수 있는 열 효과를 제거합니다. 이 작은 모듈은 4개의 센서와 제어 전자 장치를 모두 컴팩트한 모듈식 설계로 결합하여 챔버에 필요한 게이지 수를 줄이고 필요한 공간을 최소화합니다. 전체 범위 압력 측정은 단일 아날로그 신호로 출력되거나 옵션 직렬 RS-485 또는 DeviceNet 디지털 인터페이스를 통해 사용할 수 있습니다. RS-485 및 DeviceNet 버전에는 최대 3개의 옵션 설정점 릴레이가 있어 프로세스 제어를 위해 구성할 수 있으며, 진공 압력 범위 전체의 모든 압력에서 릴레이를 할당하거나 특정 차압 값에 할당할 수 있습니다.
이점에는 다음이 포함됩니다.
• 1 x 10-9 고진공에서 대기압까지 연속 압력 측정.
• 대기압에서 정밀 차압 측정.
• 개별 대기 스위치가 필요 없습니다.
• 3개의 별도 센서가 필요 없습니다.
• 이중 이온화 게이지 필라멘트가 장비 가동 시간을 증가시킵니다.
• 이온화 게이지 활성화 및 비활성화를 자동화합니다.
• 프로세스 제어를 위한 옵션 설정점 릴레이 .
• 현장에서 교체 가능한 게이지 어셈블리.
• 아날로그, RS-485 또는 DeviceNet 출력 가능.
• 옵션 그래픽 LCD 디스플레이.
모듈식 진공 게이지는 전면 패널 디스플레이와 제어가 필요 없는 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이러한 소형, 편리하고 신뢰할 수 있으며 비용 절감이 가능한 모듈은 게이지에 직접 장착된 제어 전자 장치를 갖추고 있습니다. 모든 금속 패키지는 견고한 인클로저와 높은 수준의 전기적 노이즈에 대한 내성을 제공합니다. Mini-Convectron 모듈은 최신 전자 기술을 사용하여 Granville-Phillips®Convectron®Gauge를 작동합니다. Convectron Gauge는 산업 표준이 되었습니다. 압력 측정이 센서 와이어의 열 손실률을 기반으로 하는 열 전도도 게이지의 고유한 변형입니다. 전도성 열 손실만을 사용하는 기존의 열전대 및 피라니 게이지와 달리, 컨벡트론 게이지는 고압에서 대류로 인한 열 손실을 활용합니다. 이를 통해 정확하고 반복 가능한 측정 범위를 대기로 확장합니다.
Granville-Phillips 마이크로 이온 ATM 모듈은 입증된 마이크로 이온 이온화 게이지 기술과 소형 Conductron 열 손실 센서 및 두 개의 Piezo 저항 센서를 결합하여 고진공에서 대기압까지 정확하고 지속적인 압력 측정을 제공합니다. 이 제품은 다이어프램 센서를 사용하여 대기압까지의 정확한 절대 압력을 제공하고 주변과의 진공 챔버 차압을 정밀하게 표시할 수 있습니다. 독특한 센서 설계는 더 높은 압력에서 열 손실 센서의 성능에 영향을 줄 수 있는 열 효과를 제거합니다. 이 작은 모듈은 4개의 센서와 제어 전자 장치를 모두 컴팩트한 모듈식 설계로 결합하여 챔버에 필요한 게이지 수를 줄이고 필요한 공간을 최소화합니다. 전체 범위 압력 측정은 단일 아날로그 신호로 출력되거나 옵션 직렬 RS-485 또는 DeviceNet 디지털 인터페이스를 통해 사용할 수 있습니다. RS-485 및 DeviceNet 버전에는 최대 3개의 옵션 설정점 릴레이가 있어 프로세스 제어를 위해 구성할 수 있으며, 진공 압력 범위 전체의 모든 압력에서 릴레이를 할당하거나 특정 차압 값에 할당할 수 있습니다.
이점에는 다음이 포함됩니다.
• 1 x 10-9 고진공에서 대기압까지 연속 압력 측정.
• 대기압에서 정밀 차압 측정.
• 개별 대기 스위치가 필요 없습니다.
• 3개의 별도 센서가 필요 없습니다.
• 이중 이온화 게이지 필라멘트가 장비 가동 시간을 증가시킵니다.
• 이온화 게이지 활성화 및 비활성화를 자동화합니다.
• 프로세스 제어를 위한 옵션 설정점 릴레이 .
• 현장에서 교체 가능한 게이지 어셈블리.
• 아날로그, RS-485 또는 DeviceNet 출력 가능.
• 옵션 그래픽 LCD 디스플레이.
모듈식 진공 게이지는 전면 패널 디스플레이와 제어가 필요 없는 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이러한 소형, 편리하고 신뢰할 수 있으며 비용 절감이 가능한 모듈은 게이지에 직접 장착된 제어 전자 장치를 갖추고 있습니다. 모든 금속 패키지는 견고한 인클로저와 높은 수준의 전기적 노이즈에 대한 내성을 제공합니다. Mini-Convectron 모듈은 최신 전자 기술을 사용하여 Granville-Phillips®Convectron®Gauge를 작동합니다. Convectron Gauge는 산업 표준이 되었습니다. 압력 측정이 센서 와이어의 열 손실률을 기반으로 하는 열 전도도 게이지의 고유한 변형입니다. 전도성 열 손실만을 사용하는 기존의 열전대 및 피라니 게이지와 달리, 컨벡트론 게이지는 고압에서 대류로 인한 열 손실을 활용합니다. 이를 통해 정확하고 반복 가능한 측정 범위를 대기로 확장합니다.
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