MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 1 ～ 50 sccm、15 ピンコネクタ、4 VCR オス。PN: GM50A013501RMM020
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MKS 部品番号: GM50A013501RMM020。
MKS GM50A マスフローコントローラーは、幅広い安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール フロー範囲は 50 sccm、制御範囲は 1 ～ 50 sccm、接地された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC フロー入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションにより、キャリブレーション ガスの設定点精度は 1% になります。
マルチレンジ機能は、MFC をルーターまたはコンピューターに Ethernet ケーブルで接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。
マルチレンジ機能は、MFC をルーターまたはコンピューターに Ethernet ケーブルで接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。
Swagelok、VCR-TM Swagelok Company
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