MKS GM50A 질량 유량 컨트롤러(MFC) 디지털 제어, 0.4~20sccm 범위, 15핀 D-초소형, 4 VCR 수. PN: GM50A013201RMM020
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MKS 부품 번호: GM50A013201RMM020.
MKS GM50A 질량 유량 컨트롤러는 N2 또는 이와 동등한 것을 제어하도록 구성할 수 있으며, 전체 유량 범위는 20sccm이고 제어 범위는 0.4~20sccm입니다. 접지가 연결된 15핀 D-초소형 아날로그 커넥터, 0~5VDC 유량 입력/출력 신호, Swagelok® 4 VCR® 수 입력 및 출력 피팅이 있습니다. 일반적인 응답 시간은 500밀리초 정도입니다. 디지털 교정은 교정 가스에 대한 설정점 정확도의 1%를 제공합니다.
다중 범위 기능은 이더넷 케이블을 통해 MFC를 라우터나 컴퓨터에 연결하여 액세스할 수 있는 웹 브라우저 기반 애플리케이션을 통해 구성할 수 있습니다. E-diagnostics 애플리케이션을 사용하면 사용자가 MFC의 성능을 실시간으로 모니터링하고 데이터를 플롯하고 변수를 선택할 수 있습니다.
다중 범위 기능은 이더넷 케이블을 통해 MFC를 라우터나 컴퓨터에 연결하여 액세스할 수 있는 웹 브라우저 기반 애플리케이션을 통해 구성할 수 있습니다. E-diagnostics 애플리케이션을 사용하면 사용자가 MFC의 성능을 실시간으로 모니터링하고 데이터를 플롯하고 변수를 선택할 수 있습니다.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company
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