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MKS 控制卡质量流量控制器 946 系列和双质量流量控制器。PN：20000712

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MKS 控制卡质量流量控制器 946 系列和双质量流量控制器。
MKS 零件编号：20000712。

MKS 控制卡质量流量控制器与 946 和双质量流量控制器兼容。
这些卡用于设计用于控制和显示任何流量传感器的控制器。 流量设定点可以通过前面板控件或通过后面板模拟接口远程调整。 946 真空系统控制器可同时读取和控制多达 6 个传感器和仪表。

946-Manual.pdf (946-Manual.pdf, 1,842 Kb) [下载]

946-DataSheet.pdf (946-DataSheet.pdf, 427 Kb) [下载]

MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf (MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf, 3,070 Kb) [下载]

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