MKS 冷陰極真空計信号ケーブル、943 コントローラーと HPS 423 I-Mag を 10 フィート (3 m) に接続します。PN: 100007873
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MKS 部品番号: 100007873
これは、MKS 10 フィート長の冷陰極真空計信号ケーブルで、MKS 423 I-Mag® 冷陰極センサーの上部と MKS 943 冷陰極コントローラーの背面ポートに接続します。これはケーブルのみで、その他の部品とアクセサリはすべてオプションです。
423 I-Mag® センサーは、反転マグネトロン設計を採用しており、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力で動作できます。適切なコントローラーを使用すれば、最低 10-11 Torr まで動作します。この圧力範囲の拡大により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適です。HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集用の 2 番目のフィードスルーです。通常の単一のフィードスルー設計では、陽極と接地間の電流漏れがあると圧力測定エラーが発生します。デュアル フィードスルー設計では、陰極からのイオン電流のみが測定に寄与するため、プロセス監視に最適です。
423 I-Mag® センサーは、燃え尽きるフィラメントがないため、突然の空気の流入によって損傷を受けることがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージからガスを抜いたりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサーコネクタを取り外し、センサーを 400°C までベークすることができます。
423 I-Mag® センサーは、反転マグネトロン設計を採用しており、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力で動作できます。適切なコントローラーを使用すれば、最低 10-11 Torr まで動作します。この圧力範囲の拡大により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適です。HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集用の 2 番目のフィードスルーです。通常の単一のフィードスルー設計では、陽極と接地間の電流漏れがあると圧力測定エラーが発生します。デュアル フィードスルー設計では、陰極からのイオン電流のみが測定に寄与するため、プロセス監視に最適です。
423 I-Mag® センサーは、燃え尽きるフィラメントがないため、突然の空気の流入によって損傷を受けることがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージからガスを抜いたりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサーコネクタを取り外し、センサーを 400°C までベークすることができます。
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