MKS 974B QuadMag 콜드 캐소드 트랜스듀서 KF-25, RS232, 절대 공정 측정. PN: 974B-21020
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MKS 974B QuadMag 냉음극 트랜스듀서는 MKS 970 시리즈에 속하며, 1~4개의 센서(냉음극, MicroPirani™, Piezo 기술)를 활용하는 소형, 저비용, 범용 트랜스듀서 제품군입니다. 이러한 감지 기술을 결합하면 대기압에서 10-8 Torr까지 광범위한 측정 범위가 가능합니다. 970 시리즈는 작은 크기, 광범위한 범위, 낮은 비용 외에도 디지털 통신을 통해 작동하거나 자율적인 아날로그 장치로 작동할 수 있습니다.
트랜스듀서 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 절대 압력 센서로 가스에 관계없이 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 있어 광범위한 측정 범위에서 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1 ~ 1,500 Torr를 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 조정 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1밀리미터 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피에서 측정할 수 있습니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100 Torr이며 10 Torr 이상에서는 감도가 빠르게 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분의 크기가 매우 작기 때문에 범위가 10-5 Torr까지 줄어듭니다. 이 설계는 대류의 영향을 최소화하므로 정확도를 떨어뜨리지 않고 모든 위치에서 작동이 가능하여 설치가 간편합니다. 이 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 제로 제어가 포함되어 있습니다.
디지털 통신 기능이 있는 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기를 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 제공할 수 있습니다. MKS 974B 변환기는 표준 기능으로 RS485 또는 RS232 통신을 지원합니다. 이 974B QuadMag 냉음극 변환기는 수컷 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15 Torr 범위에서 두 센서에서 읽습니다.
공정 제어를 위해 974B에는 세 개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 설정점의 기능은 디지털 포트를 통해 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 974B는 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차등 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이를 통해 진공 시스템에서 중간에서 미세 누출을 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974B DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.
트랜스듀서 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 절대 압력 센서로 가스에 관계없이 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 있어 광범위한 측정 범위에서 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1 ~ 1,500 Torr를 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 조정 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1밀리미터 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피에서 측정할 수 있습니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100 Torr이며 10 Torr 이상에서는 감도가 빠르게 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분의 크기가 매우 작기 때문에 범위가 10-5 Torr까지 줄어듭니다. 이 설계는 대류의 영향을 최소화하므로 정확도를 떨어뜨리지 않고 모든 위치에서 작동이 가능하여 설치가 간편합니다. 이 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 제로 제어가 포함되어 있습니다.
디지털 통신 기능이 있는 MKS 974B QuadMag 냉음극 변환기를 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 제공할 수 있습니다. MKS 974B 변환기는 표준 기능으로 RS485 또는 RS232 통신을 지원합니다. 이 974B QuadMag 냉음극 변환기는 수컷 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15 Torr 범위에서 두 센서에서 읽습니다.
공정 제어를 위해 974B에는 세 개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 설정점의 기능은 디지털 포트를 통해 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 974B는 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차등 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이를 통해 진공 시스템에서 중간에서 미세 누출을 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974B DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.
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