Leybold Thermovac TTR 91RN MEMS-ピラニ真空トランスデューサー NW16、3.75 x 10-5 Torr から大気圧、スイッチング ポートなし。PN: 21L1011100
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TTR 91 RN Leybold 部品番号: 21L1011100、TTR 91 N、PN: 230035V02 の代替品。
Leybold Thermovac TTR 91 RN マイクロピラニトランスデューサーには、振動や衝撃の排気に強い MEMS-ピラニ (マイクロ電気機械システム) センサーが搭載されています。 91 N は、ポンプダウン サイクルを監視するために 3.75 x 10-5 から 750 Torr まで測定します。
Thermovac トランスミッターは、プロセス制御を向上させるためにアナログ電圧出力と設定ポイント リレー (特定のモデルのみ) を提供するアクティブ センサーです。対応モデルでは、内蔵リレーにより、プログラム可能な制御を必要とせずにトランスミッターで直接スイッチング機能を実行できます。Thermovac シリーズ トランスミッターには、センサーの状態を示す LED リングが装備されています。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
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