Agilent Varian IDP-07 IDP07 IDP7 건식 스크롤 진공 펌프, 1상, PN X3807-64000

Agilent Varian IDP-7 건식 스크롤 진공 펌프는 매우 조용한 < 55 dBA 및 낮은 진동 작동을 위해 설계되어 60Hz에서 최대 펌핑 속도 5.4cfm(9.1m3/h)를 제공하고 최대 압력 20mTorr를 생성합니다. 이 Agilent IDP-7 건식 스크롤 펌프는 밀폐형이며 헬륨 재순환과 진공 오븐, 백킹 펌프 애플리케이션에 적합합니다. 밀폐형 설계는 펌프를 통과하는 깨끗한 가스 경로를 제공하여 오일이나 그리스 오염 위험을 없애 모터와 베어링이 대기압에서 작동할 수 있게 하고 진공 공정 가스나 수증기에 노출되지 않도록 격리합니다. Agilent IDP-7은 50/60Hz에서 100-120V 또는 200-230VAC 사이에서 쉽게 전환할 수 있는 작동 전압 범위를 위한 글로벌 단상 모터를 지원합니다.

Agilent Technologies 부품 번호 X3807-64000인 이 IDP-7 모델에는 IDP-7에 전원이 공급되지 않을 경우 스크롤 펌프 입구를 통한 공기의 역방향 이동을 방지하는 옵션 통합 입구 격리 밸브가 포함되어 있지 않습니다. 이 격리 밸브는 시스템 전원이 공급되지 않을 때 고객의 챔버나 계측기가 갑자기 환기되는 것을 방지합니다.

터보 분자 펌프와 같은 고진공 펌프는 건식 백킹 펌프 기술과 함께 점점 더 많이 사용되고 있습니다. 스크롤 기술을 기반으로 하는 펌프는 터보 분자 고진공 펌프를 백업하기 위한 건식 펌프 기술로 선택되었습니다. 이러한 Agilent Varian IDP-7 스크롤 기술을 우수한 건식 펌프 선택으로 만드는 데에는 깨끗하고 예측 가능한 성능, 낮은 진동 및 소음, 긴 서비스 수명을 포함한 여러 가지 요소가 있습니다.

최신 Agilent IDP-7 스크롤 기술은 매끄러운 궤도 작동을 기반으로 합니다. 가스 압축 및 배출의 진공 펌프 사이클은 최소한의 맥동과 매우 낮은 진동으로 발생합니다. 응용 분야에 따라 진동은 부정적인 영향을 미칠 수 있으며 진동 분리기와 같은 추가 구성 요소를 사용해야 할 수도 있습니다. 새로운 Agilent IDP-7은 과도한 진동이 용납될 수 없는 다양한 응용 분야에서 선택할 수 있는 건식 펌프입니다.

현재 스크롤 펌프 기술과 팁 씰 설계는 낮은 기본 압력과 서비스 수명 동안 기본 압력의 점진적인 증가를 제공하기 위해 함께 작동하는 요소입니다. 이러한 점진적인 기본 압력 증가로 진공 수준이 허용할 수 없게 되기 전에 유지 관리를 수행할 수 있으며 예정되지 않은 가동 중지 시간을 줄일 수 있습니다. Agilent IDP-7과 같은 일반적인 스크롤 펌프는 20mTorr의 기본 압력을 달성합니다.

이러한 Agilent IDP-7 건식 스크롤 펌프는 중첩된 스크롤 중 하나가 다른 스크롤 주위를 공전하여 포획된 가스의 이동 구역을 만드는 간단한 이중 스크롤 메커니즘을 사용하여 진공을 생성합니다. 가스는 외부 경계에서 스크롤 세트로 들어가 허브 중앙으로 이동하고 압축되어 배출됩니다. 복잡하지 않은 이중 스크롤 설계는 낮은 소음 및 진동 수준, 간단하고 드문 유지 관리 요구 사항, 치명적인 고장 모드 제거를 포함한 많은 이점을 제공합니다.

이러한 새로운 Agilent Technologies IDP-7에는 더 긴 팁 씰 수명과 더 긴 서비스 간격을 위한 개선된 솔리드 팁 씰이 포함되어 있습니다. 솔리드 팁 씰 소재는 응축성 증기 응용 분야에서 우수한 성능을 발휘합니다. IDP-07의 팁 씰 교체가 그 어느 때보다 쉬워졌습니다. 팁 씰 키트(X3807-67000) 외에도 몇 가지 간단한 도구만 있으면 마모된 팁 씰을 교체할 수 있습니다. 플랫 헤드 스크루드라이버, 4mm 및 5mm 앨런 렌치, 이소프로필 알코올, 보푸라기 없는 물티슈 몇 장입니다. 팁 씰 교체 절차는 사용 설명서의 18~20페이지를 참조하십시오. 새로운 Agilent IDP-7 밀폐형 건식 스크롤 진공 펌프의 사용 설명서와 PDF 형식의 브로셔는 아래의 다운로드 섹션에서 다운로드할 수 있습니다.