Agilent Varian TwisTorr 84-FS 터보 분자 진공 펌프, Conflat CF 2.75 입구 플랜지, 56 L/S 펌핑 속도, UHV 애플리케이션용. PN: X3502-64003

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Agilent Varian TwisTorr 84-FS 터보 진공 펌프, Conflat CF 2.75 입구 플랜지, 56 L/S 펌핑 속도, UHV 애플리케이션용.
냉각 키트 필요, Agilent Varian 부품 번호 X3502-64003.


이 Agilent Varian TwisTorr 84 FS 터보 분자 진공 펌프에는 Conflat CF 2.75 입구 플랜지, 56 L/S 펌핑 속도가 있습니다. 84 FS 터보 펌프는 74 FS의 슈퍼차저 버전으로, 1350Hz 오버클럭 구동 주파수로 펌핑 속도가 10% 향상되어 초고진공(UHV)에 특화된 펌프입니다. 대부분의 일반적인 고진공(HV) 애플리케이션의 경우 Ideal Vacuum은 경제성이 더 뛰어난 74 FS 터보 펌프 모델을 권장합니다. 이러한 강화된 Agilent 84 FS 터보 펌프는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 더 높은 압축 비율을 생성하여 처리량을 높이고 가장 낮은 궁극 압력에 도달합니다. Conflat 흡입구가 있는 Agilent Varian TwisTorr 84 FS 터보 펌프는 올바르게 사용하면 궁극 압력이 3.75x10-10 Torr까지 낮아지는 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다. 예를 들어 이러한 펌프의 Conflat 버전을 사용하면 흡입 플랜지를 섭씨 120도까지 가열할 수 있습니다. 이 TwisTorr 84-FS 터보 펌프는 강제 팬 공기 또는 수냉과 같은 냉각 키트와 함께 외장형 원격 랙 마운트 또는 온보드 펌프 측면 장착 컨트롤러가 필요하며, 모두 Ideal Vacuum에서 별도로 판매합니다.

이 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 터보 펌프는 Conflat CF 2.75 입구 플랜지를 가지고 있으며, 질소 펌핑 속도는 56 l/s이고, KF-16 포어라인 플랜지를 가지고 있으며, 주변 작동 온도는 5°C~+35°C입니다. 이 84 FS 터보 펌프는 시동 시간이 2분 미만이고, 회전 속도는 81,000rpm이며, 건식 스크롤(IDP-3 또는 IDP7) 또는 오일 밀봉 회전 베인(DS-40M 또는 DS-102) 중 하나를 권장하는 포어라인 러핑 펌프입니다. 강제 공기 냉각의 냉각 요구 사항은 주변 공기 온도가 5~35°C이고 수냉의 경우 최소 유량이 0.30gpm, 15~25°C, 압력이 45~75psi입니다.

새로운 Agilent Twistorr 84 FS는 광범위한 UHV 애플리케이션에 적합한 성능과 기능을 결합했습니다. 다양한 분야에서 사용할 수 있습니다.

일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다.
  • 질량 분석법
  • 가스 크로마토그래피 질량 분석법(GC/MS)
  • 액체 크로마토그래피 질량 분석법(LC/MS)
  • 유도 결합 플라스마 질량 분석법(ICP-MS)
  • 비행 시간형 질량 분석법(TOF)

연구 개발에서의 진공:
  • 고에너지 물리학
  • 핵융합 기술
  • 일반 UHV 연구
  • 싱크로트론 광원 입자 가속기

나노기술 기기:
  • 전자 현미경
  • 주사 전자 현미경(SEM)
  • 투과 전자 현미경(TEM)
  • 집속 이온빔 시스템(FIB)
  • 표면 분석
  • 반도체 제조

산업용 진공 처리:
박막 증착:
  • 유리 코팅 장비(건축 및 자동차 유리, 평판 디스플레이)
  • 박막 태양 전지 생산(태양광)
  • 광 데이터 미디어(CD, DVD, 자기 광 디스크)
  • 자기 저장 미디어
  • 표면 처리
  • 광학 코팅(안과, 정밀 광전자)
  • 필름이나 호일에 롤/웹 코팅

장치 처리:
  • TV 및 모니터 픽처 튜브 제조
  • 램프(고속도로 조명, 비머)의 진공
  • X선관 및 전자 장치

일반 공정:
  • 진공로
  • 야금

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Ideal_Vacuum_Agilent_TwisTorr_FS_Family_Turbo_Pump_Brochure.pdf (Ideal_Vacuum_Agilent_TwisTorr_FS_Family_Turbo_Pump_Brochure.pdf, 7,349 Kb) [다운로드]

Agilent_TwisTorr_84FS_Data_Sheet_2022.pdf (Agilent_TwisTorr_84FS_Data_Sheet_2022.pdf, 414 Kb) [다운로드]

Agilent_TwisTorr_84FS_Turbo_Operations_Manual.pdf (Agilent_TwisTorr_84FS_Turbo_Operations_Manual.pdf, 3,197 Kb) [다운로드]

Agilent_Turbo_84FS_Rack_Controller_Manual.pdf (Agilent_Turbo_84FS_Rack_Controller_Manual.pdf, 6,265 Kb) [다운로드]

Agilent_TwisTorr_84FS_AG_Navigator_Controller_User_Manual.pdf (Agilent_TwisTorr_84FS_AG_Navigator_Controller_User_Manual.pdf, 3,377 Kb) [다운로드]

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