Edwards nXDS 시리즈 건식 스크롤 진공 펌프 미크론 필터 트랩, 입구 또는 펌프 배기에 사용 가능, KF-25 진공 플랜지, PN: A505-97-805
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Edwards 진공 부품 번호 PN: A505-97-805.
이러한 Edwards nXDS 미크론 필터 트랩은 진공 챔버에서 빨려들어올 수 있는 이물질로부터 보호하기 위해 펌프 입구에 사용하거나 진공 펌프와 배기 라인 사이에 사용하여 팁-씰 먼지를 가두는 데 사용할 수 있습니다. 이 Edwards nXDS 필터 트랩은 5미크론 요소와 함께 제공되며 KF-25 진공 플랜지와 Edwards 부품 번호 A505-97-805가 있습니다.
교체용 필터 미디어 1미크론, A505-97-803. P108771
교체용 필터 미디어 5미크론, A505-97-802. P108772
모든 Edwards nXDs 시리즈 건식 스크롤 진공 펌프와 호환:
교체용 필터 미디어 1미크론, A505-97-803. P108771
교체용 필터 미디어 5미크론, A505-97-802. P108772
모든 Edwards nXDs 시리즈 건식 스크롤 진공 펌프와 호환:
- 에드워즈 nXDS6i
- 에드워즈 nXDS10i
- 에드워즈 nXDS15i
- 에드워즈 nXDS20i
- 에드워즈 nXDS6ic
- 에드워즈 nXDS10ic
- 에드워즈 nXDS15ic
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- 에드워즈 nXDS6ir
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- 에드워즈 nXDS20ir
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