Edwards LAM Alliance Micro TIM コントロール モジュール (Edwards EPX、iGX、GX、iXH、iXL、ドライ ポンプ用)、D37360350
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D37360350
LAM Alliance MicroTIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の LAM Alliance プラットフォームへのツール インターフェイスを提供します。LAM Alliance Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールでさまざまな Edwards ポンプを制御および監視できます。LAM Alliance Micro TIM は、次の Edwards ポンプと互換性があります。
- EPX シリーズ
- iGX シリーズ
- GX シリーズ
- iXH シリーズ
- iXL シリーズ
- システム コントローラを備えたマルチ ポンプ システムでも使用できます。
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