Edwards iXM 200 ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. PN A56106958
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Edwards 部品番号 A56106958
Edwards iXM 200 は、環境に優しい製造のために設計された新しいドライポンプシリーズです。非常に低いエネルギーを使用する効率的なルーツ機構が開発され、入力電力が 1.3 kW に大幅に削減されました。これは、前世代のドライポンプよりも 60% 低いため、環境への影響が軽減され、所有コストも削減されます。
ガスバリア技術と熱設計の改善により、iH シリーズ製品よりも 4 倍の耐腐食性を実現しています。高度な粉末処理機能により、iXM は、多層エッチング プロセスで最大限の信頼性とポンプ寿命の延長を実現し、CVD プロセスでは消費電力を削減します。
Edwards iXM 200 シリーズ ポンプは、コンパクトで軽量な設計で、非常に低いノイズと振動を併せ持つため、Edwards 製品群の中で最も汎用性の高いドライ ポンプとなっています。iXM は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を一変させ、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の増加を実現します。iXM ポンプは、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されており、入力電力を大幅に削減します。 完全な取扱説明書については、横のダウンロードを参照してください。
機能と利点:
Edwards iXM 200 シリーズ ポンプは、コンパクトで軽量な設計で、非常に低いノイズと振動を併せ持つため、Edwards 製品群の中で最も汎用性の高いドライ ポンプとなっています。iXM は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を一変させ、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の増加を実現します。iXM ポンプは、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されており、入力電力を大幅に削減します。 完全な取扱説明書については、横のダウンロードを参照してください。
機能と利点:
- 主にクリーンから軽度の過酷な化学薬品用途向け (以下の用途範囲を参照)
- ピーク ポンピング速度 200 m3/h-1 (118 CFM)
- 最大圧力 1.5 X 10-2 Torr
- プライマリ ポンプのみを含む
- 予防保守は不要
- 3/8 インチ クイック コネクト水充填
- 水と電源接続嵌合ハーフ
- SS 水冷システム
- バリモード ガス モジュール
用途:- ロード ロック
- 転送
- 気象学
- リソグラフィー
- 物理蒸着 PVD プロセス
- 物理蒸着 PVD プレクリーン
- 急速熱アニール RTA
- ストリップ/アッシング
- エッチング
- インプラント ソース
- 高密度プラズマ化学蒸着 HDP CVD
- 急速熱処理 RTP
- 大気圧以下の化学蒸着SACVD
- タングステン化学蒸着法 WCVD
- 改良化学蒸着法 MCVD
- プラズマ強化化学蒸着法 PECVD
- 低圧化学蒸着法 LPCVD
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