Edwards iXM 1200 乾式真空幫浦 200-230 VAC 50/60 Hz 3 相零件號碼 A56146958
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Edwards 零件號 A56146958
Edwards iXM 1200 系列幫浦結構緊湊、重量輕，結合了 噪音和振動極低，使 iXM 成為 Edwards 系列中最通用的乾式幫浦。 iXM 將 改變您對乾式真空幫浦技術的期望， 以最小的成本提供真正的好處並增加正常運行時間 環境影響。 iXM 幫浦設計用於大多數半導體 過程，同時顯著降低輸入功率。 完整的說明手冊，請參閱側面的下載。
特質與優點：
- 主要用於清潔到輕度惡劣化學應用（請參閱下面的應用範圍）
- 峰值抽速 1030 m3/h-1 (606 CFM)
- 極限壓力 5.0 X 10-3 Torr
- 無需預防性維護
- 3/8 吋快速連接注水裝置
- 水和水電源連接接合半部
- SS水冷系統
- Varimode 氣體模組
應用：- 載入鎖定
- 轉移
- 氣象學
- 光刻
- 物理氣相沉積 PVD 製程
- 物理氣相沉積 PVD 預清洗
- 快速熱退火 RTA
- 剝離/灰化
- 蝕刻
- 植入來源
- 高密度等離子體化學氣相沉積 HDP CVD
- 快速熱處理 RTP
- 低於大氣壓力化學氣相沉積 SACVD
- 鎢化學氣相沉積 WCVD
- 改良化學氣相沉積 MCVD
- 等離子體增強化學氣相沉積 PECVD
- 低壓化學氣相沉積 LPCVD
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