Edwards iQDP-40 および iQDP-80 ガスモジュール質量流量計 3810 - 60 L/MIN 交換品
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Edwards iQDP-40 および iQDP-80 ドライ半導体真空ポンプには、真空ポンプに窒素流量を提供するシリーズ II ガス モジュールがあります。これらの窒素流量は、ポンプのセクションをパージし、ドライ シャフト シールを冷却するために必要です。これらのポンプが古くなると、ガス モジュール内のマス フロー コントローラーに不具合が生じる可能性があります。当社の交換用マス フロー コントローラー 3810 は、新しい較正済み交換部品として設計されています。これらはガス モジュールを再生し、真空ポンプに正しい流量を提供します。
Ideal Vacuum は、すべてのブロワーの組み合わせが利用可能なすべての Edwards iQDP-40 および iQDP-80 ドライ半導体ポンプの再構築サービスを提供しています。iQDP ポンプまたは iQDP ガス モジュールの再構築サービスについては、505-872-0037 までお問い合わせください。
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