Edwards EPX, iGX, GX, iXH, iXL, 건식 펌프용 Edwards Hitachi Micro TIM 제어 모듈, D37360370
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D37360370
Hitachi MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Hitachi 도구 인터페이스를 제공합니다. Hitachi Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 프로세스 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Hitachi Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다.
- EPX 시리즈
- iGX 시리즈
- GX 시리즈
- iXH 시리즈
- iXL 시리즈
- 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에서도 사용 가능.
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