Edwards CTI Helix Cryogenics クライオポンプメンテナンスマニホールドキット 8080250K003

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Edwards CTI Helix Cryogenics Cryopump メンテナンス マニホールド キット。
PN 8080250K003

このメンテナンス クライオジェニック マニホールドは、クライオ コンプレッサー、クライオ ポンプ、ヘリウム ラインにヘリウムを導入するために使用されるツールです。ヘリウム回路を浄化するためのパージ手順でも使用されます。メンテナンス マニホールドは、ヘリウムを導入する前の真空にも使用できます。ヘリウム充填ラインもここで販売されています。P1010030

オンボード クライオポンプ ヘリウム回路の汚染除去手順書も提供されています。オンボード クライオポンプのコールドヘッド内の汚染物質を凍結することで、オンボード クライオポンプ ヘリウム回路からガス汚染物質を取り除くことができます。汚染されたヘリウム回路により、オンボード クライオポンプは、通常 ラチェット と呼ばれるノイズの多い動作をするため、オンボード クライオポンプの性能が低下します。 リモート キーパッド ディスプレイの操作については、ダウンロードの左側にある操作マニュアル .pdf を参照してください。

Cryo-Pumps_Install_1.pdf (Cryo-Pumps_Install_1.pdf, 941 Kb) [ダウンロード]

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