Ebara EV-SA30-3 风冷干式真空泵，适用于清洁应用，3 相 200-240 VAC，120 cfm 3,300 l/min，PN：202654
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这些 Ebara EV-SA 30 系列干式旋转叶片真空泵采用风冷设计，专为轻型干式真空应用而设计。 EV-SA 30 泵干式泵具有 120 cfm (3300 L/Min) 的大抽速，具有 KF-40 进气口和排气口，运行时噪音水平为 56 dB (A)，非常安静，无气镇的极限压力为 22.5 mTorr（气镇开启时为 37.5 mTorr）。运行功耗低，极限压力下低至 1.1 kW，可节省成本。该装置的 Ebara 参考编号为 EV-SA30-3，包括标准配件，例如垂直排气方向、外部消音器和止回阀，采用单相 200-240 VAC 运行，并配有可选气镇端口，型号为 Ebara EV-SA30-3，零件编号为 202654。
Ebara EV-SA30 系列干式真空泵使用简单，只需将其插入并打开即可（就这么简单）。它们可以订购为单相 208 VAC 或三相 208 VAC 运行，目前此处销售的零件编号 202654 适用于三相 208 VAC 泵。Ebara EV-SA 泵可以在大气压下连续运行，不会过热或锁定。Ebara EV-SA 真空泵结构紧凑，运行时非常安静。它们包括滚轮，便于在设施内移动。请参阅以下用户手册和产品手册下载中的附加信息。
Ebara EV-SA30 系列干式真空泵使用简单，只需将其插入并打开即可（就这么简单）。它们可以订购为单相 208 VAC 或三相 208 VAC 运行，目前此处销售的零件编号 202654 适用于三相 208 VAC 泵。Ebara EV-SA 泵可以在大气压下连续运行，不会过热或锁定。Ebara EV-SA 真空泵结构紧凑，运行时非常安静。它们包括滚轮，便于在设施内移动。请参阅以下用户手册和产品手册下载中的附加信息。
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Ebara EV-SA 系列干式旋转叶片泵的优点和特点。
- 最低能耗
- 无需维护
- 低运行成本
- 真空范围广
- 高盈利能力
- 最小占用空间
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应用
- 负载锁
- 分析仪器（LCMS液相色谱-质谱法、GCMS气相色谱质谱法）
- 计量学 - SEM（扫描电子显微镜）、TEM（透射电子显微镜）
- PVD（物理气相沉积）溅射系统
- 干燥真空炉
- 氧等离子系统
- 湿泵更换
- 涡旋泵更换
- 清洁应用
- 手套箱
- 冻干（冷冻干燥）
- 灭菌器（气化过氧化氢灭菌器医疗设备真空蒸汽灭菌，用于医院应用）
- 泄漏检测器
- 光束线和同步加速器
- 高能物理（研究和开发实验室 - R&D）
- 空间模拟室
- 涡轮泵背衬
- 柔性 LED 视频显示器制造
- 绝对清洁和干燥的真空，用于医疗设备和PCB 板制造
- 中型，与 PFPE 旋片泵竞争，泵送氧气应用。等离子 O2 CF4
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