バースト ディスク CF 1.33 フランジ、超高真空、大気圧への圧力解放、定格 15 PSI (72 F)
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これらの真空システム バースト ディスクは、真空チャンバーの偶発的な過圧イベントが発生した場合に安全な圧力解放経路を提供します (これらのバースト ディスクは、Conflat 1.33 CFF 1-1/3 フランジを備え、定格 15 PSIG、72 °F です)。これらは、真空チャンバーとシステムのオペレーターを保護するように設計された、超高真空 (UHV) アプリケーション向けに定格された全金属密閉デバイスです。バースト ディスクは薄い金属箔のダイヤフラムでできており、スパイクのリングに押し戻されてディスクが破裂し、瞬時に圧力を逃がす経路ができます。真空チャンバーは、チャンバーに押し込まれる大気圧の負荷に対応するように設計されています。フランジ、ビューポート、圧縮ポートなどのコンポーネントが破裂して怪我をするリスクがある、大気圧を超える正の内部圧力に対応するようには設計されていません。これらのバースト ディスクの仕様は、UHV 対応の全金属構造、コンフラット CF 1.33 (1-1/3) 真空フランジ、圧力逃がし範囲 72 °F で 15 PSIG、ヘリウムの 2x10-10 std.cc/sec まで漏れない、316 ステンレス鋼の本体とディスク メンブレン、450 °C までベーキング可能、です。
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