Agilent Varian Turbo-V 1001 涡轮分子真空泵,Conflat CF 10 英寸入口法兰,抽气速度 950 L/S,PN:9698932
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需要冷却套件,Agilent Varian 部件编号 9698932。
这些 Agilent Varian Turbo-V 1001 涡轮分子高真空泵具有 Conflat 10 英寸入口法兰,极限压力为 1x10-10 Torr,Agilent Varian 部件编号为 9698932。Turbo-V 1001 涡轮泵以最低成本和尺寸实现最大性能,氮气 (N2) 的抽速为 950 l/s。我们建议使用小至 14 CFM 的主泵(例如 IDP-15 干式涡旋或 DS402 旋片真空泵),这些泵可用于操作 Turbo V 1001 的所有泵送曲线。Turbo-V 1001 是复合泵,包括 MacroTorr 拖曳级技术,可实现轻质气体的高压缩比并最大程度地提高泵的吞吐量。安捷伦瓦里安 Turbo-V 1001 涡轮泵配有 conflat 进气口,是真正的超高真空 (UHV) 泵,如果使用得当,极限压力可低至 1x10-10 Torr,例如,这些泵的 Conflat 版本允许进气法兰被烘烤至 120 摄氏度。
根据定义,Turbo-V 1001 的 Navigator 版本将涡轮泵控制器本地安装在涡轮泵下方,Navigator 控制器部件号为 9698978。但是,当 Turbo-V 1001 由其机架安装控制器供电时,它不称为 Navigator,而只是称为 Turbo V 1001 涡轮泵。机架安装控制器的 Agilent 部件号为 X3501-64003。Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigators(带有安装在泵下方的控制器)通常集成到许多分析仪器应用中,包括电子显微镜 (SEM、TEM)、聚焦离子束系统 (FIB) 和表面分析现代聚焦束系统(如 SEM、TEM 和 FIB)利用将电子或离子投射到微观样品上进行详细分析的柱。这些 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 涡轮泵是现代聚焦光束系统中的关键部件,因为它们可以快速、无油地抽空大型样品室(无油操作是许多现代分析应用(如半导体制造)的关键要求)。
Agilent Varian Turbo-V 1001 特点:
Agilent Varian Turbo-V 1001 规格:
根据定义,Turbo-V 1001 的 Navigator 版本将涡轮泵控制器本地安装在涡轮泵下方,Navigator 控制器部件号为 9698978。但是,当 Turbo-V 1001 由其机架安装控制器供电时,它不称为 Navigator,而只是称为 Turbo V 1001 涡轮泵。机架安装控制器的 Agilent 部件号为 X3501-64003。Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigators(带有安装在泵下方的控制器)通常集成到许多分析仪器应用中,包括电子显微镜 (SEM、TEM)、聚焦离子束系统 (FIB) 和表面分析现代聚焦束系统(如 SEM、TEM 和 FIB)利用将电子或离子投射到微观样品上进行详细分析的柱。这些 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 涡轮泵是现代聚焦光束系统中的关键部件,因为它们可以快速、无油地抽空大型样品室(无油操作是许多现代分析应用(如半导体制造)的关键要求)。
Agilent Varian Turbo-V 1001 特点:
- 高压缩比,适用于轻质气体,可在低基准压力下运行
- 不含碳氢化合物,适用于清洁真空系统
- 遥控器可在 100 米外进行操作
- 可安装在任何位置,轻松集成
- 免维护轴承,运行成本为零
- 可通过 Vacuum Link 应用程序进行无线控制,随时随地操作泵
- 防辐射和防磁场设计
- 无嵌入式电子设备,可在苛刻的磁场和辐射环境中运行
- 低电磁辐射可确保不干扰应用过程
- 低振动和噪音水平,对系统零影响
Agilent Varian Turbo-V 1001 规格:
- 环境工作温度:+5 至 +35 °C
- 环境存储温度:-20 至 +70 °C
- 基准压力:<1 x 10-10 Torr
- 压缩比 H2:1 x 10^6
- 法兰类型:Conflat 10 英寸
- 前级法兰尺寸:KF 40 NW
- 最大气体吞吐量 - Ar,水冷:7.5 mbar L/s;444 sccm
- 最大气体吞吐量 - N2,水冷:10 mbar L/s; 592 sccm
- 噪音水平:45 dB(A)
- 标称转速:38 KRPM
- 操作位置:任意
- 抽速 - H2:900 L/s(CF 10 英寸法兰)
- 抽速 - He:870 L/s(CF 10 英寸法兰)
- 抽速 - N2:950 L/s(CF 10 英寸法兰)
- 建议前级泵容量:15 m³/h
- 启动时间:<4 分钟
- 重量:21.2 千克
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