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Agilent Varian Triscroll 300 および 600 パージキット。PN: PTSPURGEKIT。

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Agilent Varian TriScroll 300 および 600 真空ポンプパージガスキット。
Agilent 部品番号: PTSPURGEKIT。

これらの Agilent Varian OEM Triscroll パージキットを使用すると、Triscroll 300 および 600 シリーズポンプのベアリングパージポートまたはガスバラストポートを介してメインベアリングを安全かつ適切にパージできます。このキットには、手動スロットルバルブ付きの流量計、5 psig リリーフバルブ、および必要なチューブとフィッティングが含まれています。以下のアプリケーションでは、Triscroll 300 または 600 シリーズポンプとこのパージキットを使用する必要があります:

クライオポンプの再生
ウェットチャンバーのクリーンアップ
高サイクルレートのロードロックアプリケーション
有機溶剤のポンピング
微量の臭素または塩素のポンピング
残留腐食剤のポンピング

TriScroll_Purge_Kit_Instruction_MAN.pdf (TriScroll_Purge_Kit_Instruction_MAN.pdf, 518 Kb) [ダウンロード]

Agilent_TriScroll_300_Maint_Man_Full.pdf (Agilent_TriScroll_300_Maint_Man_Full.pdf, 10,673 Kb) [ダウンロード]

Varian_TriScroll300_installation_operation_manual.pdf (Varian_TriScroll300_installation_operation_manual.pdf, 1,928 Kb) [ダウンロード]

Agilent_TriScroll_600_Maint_Full.pdf (Agilent_TriScroll_600_Maint_Full.pdf, 11,222 Kb) [ダウンロード]

Varian_TriScroll_600_installation_operation_manual.pdf (Varian_TriScroll_600_installation_operation_manual.pdf, 1,803 Kb) [ダウンロード]

Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf (Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf, 7,973 Kb) [ダウンロード]

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