Teledyne Hastings Instruments HVG-2020B 真空計、タッチスクリーン ディスプレイ、2 mA/10 進、4-20 mADC ログ出力、1/8 NPT、RS 232 および USB 付き
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1/8 NPT、RS 232 および USB、0.1 mTorr ～ 1000 Torr の範囲。
これらの Teledyne Hastings Instruments HVG-2020B 真空計にはタッチスクリーン ディスプレイが付属し、2 つのセンサー、ピエゾ ベースのトランスデューサーと熱ベースのピラニ センサーが 1 つの小型パッケージに収められています。ピエゾは 20 Torr を超える高圧で圧力を正確に測定するために使用されます。このセンサーは媒体から分離されており、ガス組成にも依存しません。ピラニ センサーは、1 Torr 未満の圧力を測定する精密溶接熱線熱センサーです。周囲温度センサーにより、機器の温度調整が可能になり、機器の圧力範囲 (0.1 mTorr ～ 1000 Torr) 全体にわたって精度が向上します。1 ～ 20 Torr では、2 つのセンサー間の加重平均を使用して圧力が決定されます。HVG-2020B には、相互較正機能も備わっています。つまり、低圧ピラニはピエゾ センサーを定期的にゼロにすることができ、ユーザーに優れた精度を提供します。
HVG-2020B は簡単に設置でき、オプションのディスプレイにより、さまざまなビューや操作モードをユーザーに提供します。「圧力対時間」モードでは、真空システムのポンプダウン (またはベント) を監視できます。このモードでは、問題を早期に特定して時間を節約できます。上昇率を表示できるため、チャンバーの漏れがあるかどうかを特定するのに役立ちます。システム圧力の変化を確認する別の方法が必要なユーザーのために、「バー グラフ」モードを用意しています。圧力が変化すると、ユーザーはバーの位置を見ることで、システム内の圧力の数値と変化率の両方を確認できます。
HVG-2020B は非常に柔軟性が高く、アナログ出力とデジタル出力の両方を提供して、プロセス制御に簡単に統合できます。さまざまなアナログ出力信号 (0-1 VDC、0-5 VDC、0-10 VDC、0-20 mA、4-20 mA) を選択できます。これにより、HVG-2020B は、より高価な静電容量マノメーターの代替として最適です。デジタル出力には、機器上部の小さなジャックを介して RS 232 と RS 485 を含めることができます。USB 接続も利用できるため、接続と操作が非常に簡単になります。HVG-2020B には、データ ロギング用の無料のデータ取得ソフトウェアが用意されています。
THCD-101 とそのすべての高度な機能 (内部 Web サーバーを含む) が、HVG-2020B で利用できるようになりました。真空ゲージには、1V/10 進数 (2 - 9 VDC) の対数出力の標準オプションがあります。THCD-101-LOG は HVG-2020B に電力を供給し、HVG-2020B の範囲に比例した出力信号を受信します。次に、出力は Torr 単位の科学的記数法で画面上の圧力読み取り値に変換されます。また、真空レベルの上限と下限を制御するために使用できる 2 つの内蔵リレーも備えています。リモート ディスプレイはパネルに取り付けたり、ベンチトップに置いたりできますが、HVG-2020B は手の届きにくい場所など、どこにでも設置できます。
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機能
- 1 つの小型パッケージに 2 つのセンサー
- 範囲 0.1 mTorr ～ 1000 Torr
- 優れた精度 20 Torr ～ 1000 Torr: ±(読み取り値の 0.1% + 0.3 Torr)
- タッチスクリーン ディスプレイ/コントロール オプション
- オプションのリモート ディスプレイと電源
- 0 ～ 1 VDC、0 ～ 5 VDC、0 ～ 10 VDC ログ &リニア
- 0-20 mA、4-20 mA ログ & リニア
- RS232 / RS485 & USB 接続
- ステータスおよび真空 LED
- 複数のビュー * 圧力対時間プロット
- NIST トレーサブル キャリブレーション * 証明書/データ シート オプション
1 mTorr ～ 20 Torr: ±(読み取り値の 5% + 0.25 mTorr)
0.2 mTorr ～ 1 mTorr: ±(読み取り値の 10% + 0.25 mTorr)
* 棒グラフ
* 設定ポイント ステータス
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アプリケーション
- 粗真空モニタリング
- 真空冶金
- 半導体
- 薄膜コーティング
- 冷凍 &空調
- 凍結乾燥
- オイル再処理
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利点
- 高精度
- 安定した性能
- 低コスト
- 柔軟な I/O
- 多数のシステム接続
- 使いやすい
HVG-2020B は簡単に設置でき、オプションのディスプレイにより、さまざまなビューや操作モードをユーザーに提供します。「圧力対時間」モードでは、真空システムのポンプダウン (またはベント) を監視できます。このモードでは、問題を早期に特定して時間を節約できます。上昇率を表示できるため、チャンバーの漏れがあるかどうかを特定するのに役立ちます。システム圧力の変化を確認する別の方法が必要なユーザーのために、「バー グラフ」モードを用意しています。圧力が変化すると、ユーザーはバーの位置を見ることで、システム内の圧力の数値と変化率の両方を確認できます。
HVG-2020B は非常に柔軟性が高く、アナログ出力とデジタル出力の両方を提供して、プロセス制御に簡単に統合できます。さまざまなアナログ出力信号 (0-1 VDC、0-5 VDC、0-10 VDC、0-20 mA、4-20 mA) を選択できます。これにより、HVG-2020B は、より高価な静電容量マノメーターの代替として最適です。デジタル出力には、機器上部の小さなジャックを介して RS 232 と RS 485 を含めることができます。USB 接続も利用できるため、接続と操作が非常に簡単になります。HVG-2020B には、データ ロギング用の無料のデータ取得ソフトウェアが用意されています。
THCD-101 とそのすべての高度な機能 (内部 Web サーバーを含む) が、HVG-2020B で利用できるようになりました。真空ゲージには、1V/10 進数 (2 - 9 VDC) の対数出力の標準オプションがあります。THCD-101-LOG は HVG-2020B に電力を供給し、HVG-2020B の範囲に比例した出力信号を受信します。次に、出力は Torr 単位の科学的記数法で画面上の圧力読み取り値に変換されます。また、真空レベルの上限と下限を制御するために使用できる 2 つの内蔵リレーも備えています。リモート ディスプレイはパネルに取り付けたり、ベンチトップに置いたりできますが、HVG-2020B は手の届きにくい場所など、どこにでも設置できます。
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